SF6N2和SF6CF4混合气体放电参数计算分析.PDF

第 卷 第 期 52 12 院0060-0065 Vol.52, No.12院0060-0065 月 日 2016 12 16 月 High Voltage Apparatus 第 卷 第 期 Dec. 16 , 2016 2016 12 52 12 DOI:10.13296/j.1001-1609.hva.2016.12.009 SF /N 和SF /CF 混合气体放电参数计算分析 6 2 6 4 李璐维 林莘 徐建源 陈会利 沈阳工业大学电气工程学院 沈阳 渊 袁 110870冤 摘要 为研究 混合气体的放电参数特性 文中通过两项近似求解 方程得到温度为 不同混 SF6 Boltzmann 300 K 合比下SF 的电子能量分布函数 折合电离系数 折合吸附系数 和折合有效电离系 /N 尧SF /CF 渊EEDF冤尧 /N 尧 浊/N 6 2 6 4 数 与其他文献结果对比 验证了该计算方法与放电参数的有效性 结果表明 /N 尧SF /CF 两种混 渊 -浊冤/N 遥 院SF6 2 6 4 合气体都随折合场强 增大时 在较低电子能量区域的 减小而在较高电子能量区域的 增大 且 E/N EEDF EEDF 混合气体在电子能量为 附近存在 的骤降现象 该现象与 的碰撞参数截面有关 而 混 SF /N 3 eV EEDF N SF /CF 6 2