近场光学显微镜与其应用111.pdfVIP

第39卷，第6期 激光与光电子学进展 Vol.39,No.6 2002年6月 June 2002 近场光学显微镜及其应用* 葛华勇 （上海大学物理系，上海 200436） 提 要 近场光学显微镜是一种新型超高空间分辨率的光学仪器，它在很多领域都有广泛应用。本文 描述了近场光学显微镜的成像原理及结构部件，简要介绍了近场光学显微镜在高分辨率光学成像、高密 度信息存储以及近场光谱等领域中的应用 关键词 近场光学，近场光学显微镜，分辨率极限 近场光学显微镜的成像方式 们不能用光学元件重现物体，即 1前言 和结构不同于传统的光学显微 出现衍射极限。然而，这种衍射极 镜，它是通过探针在样品表面逐 限对分辨率的限制并非是本质的， 80年代以来，随着科学技术 点扫描，并将探测到的光信号进 如果将尺寸小于波长的探针置于 向小尺度与低维空间的推进以及 行处理成像。受衍射极限的限 探针和样品间距小于l的范围 扫描探针显微技术的发展，在光 制，传统的光学显微镜的分辨率 内，即在近场条件下，用扫描的 学领域中出现了一个新学科—— 极限为[(0.61lNA （不相干光 方式采集来自样品的信息，则可 [1] 近场光学。近场光学是指光探测 照明，式中NA为数值孔径，l为 获得超出衍射极限的分辨率 。 器及探测器与样品间距均小于辐 光波长），或[(0.77l N A 目前已发展了一系列近场光学显 射波长条件下的光学现象；而近 （相干光照明）。在可见光范围内， 微镜，所报道的分辨率极限已经 场光学显微镜是基于近场光学理 分辨率极限最好可达到200 nm左 达到(l ～(l 。 论的一种新型超高空间分辨率光 右，这时，成像用的镜头尺寸及 学仪器。1984年，近场光学显微 镜头与样品间距远远大于光波波 2近场光学显微镜的成像原理 镜的原型“光学听诊器”的发明， 长，即处于远场条件。而对微小物 及结构 标志着人类第一次突破了光学显 体成像的要求是尽可能多地记录 微镜的衍射极限分辨率。自1992年 物体所载有的各种空间频率。由 2.1成像原理 用单模光纤做成光学探针以及利用 傅里叶光学我们知道，一个成像 近场光学显微镜的成像原理 切变力进行探针针尖至样品表面距 系统是将样品发出的各个傅里叶 不同于传统的光学显微镜，它是 离测控后，近场光学显微镜开始被 分量或空间频率收集而进行合成， 由探针在样品表面逐点扫描，逐 作为一种用于观察和研究亚波长物 处于远场条件时，由于有限的数 点记录后数字成像。图1是一种近 [1] 体的外观形貌和内在性质的新型光 值孔径，通常使用的探测元件都 场光学显微镜的成像原理图 。 学仪器。在此后的短短几年内，在 相当于一个低通滤波器，即仅仅 图中x-y-z粗逼近方式可以在几 纳米和介观尺度上，它被广泛应用 采集到信号的低频部分；当被观