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实验4 PSD光电位置传感器的光电特性及位移测量数据处理与分析
PSD 光电位置传感器的位移特性测量数据处理与分析
1、位移特性测量
表1 PSD 实验测量数据表
PSD光电位置传感器的位移测量数据处理与分析
=1.14V =0.14V
上 中 下
x(mm) (V) (V) x(mm) (V) (V) x(mm) (V) (V)
0.500 0.38 0.00 0.500 0.65 1.03 0.500 0.89 -1.48
1.000 0.86 0.03 1.000 1.42 1.06 1.000 1.03 -1.46
1.500 1.38 0.03 1.500 2.20 1.08 1.500 2.04 -1.38
2.000 1.92 0.04 2.000 3.60 1.11 2.000 3.21 -1.37
2.500 2.38 0.04 2.500 4.48 1.18 2.500 3.57 -1.34
3.000 2.90 0.05 3.000 4.98 1.25 3.000 4.11 -1.28
3.500 3.46 0.05 3.500 5.70 1.30 3.500 4.91 -1.24
4.000 3.92 0.05 4.000 6.08 1.35 4.000 5.08 -1.12
4.500 4.45 0.05 4.500 6.78 1.44 4.500 5.84 -1.12
5.000 4.92 0.05 5.000 7.42 1.57 5.000 6.15 -1.10
5.500 5.19 0.05 5.500 7.82 1.66 5.500 6.28 -1.10
6.000 5.38 0.05 6.000 8.12 1.74 6.000 6.44 -1.10
6.500 6.02 0.06 6.500 8.74 1.88 6.500 6.98 -1.10
图1 PSD 平移特性曲线图
1
分析:由图1PSD 平移特性曲线图可知,在误差允许范围内,当入射光强度
稳定不变时,PSD 位置传感器的输出电压与平移距离即偏移中心(原
点)的距离成线性(正比)关系,即平移距离越大,输出电压就越大。
另外,由图可知,上中下三条曲线的灵敏度S 分别为0.9433、1.3371
2
和 1.0426,且由相关系数 可知,输出电压与平移距离成正比线性
R
的关系。
2、光电特性测试
在激光器和 PSD 之间插入滤光片后,可观察到输出电压减弱,这说明
在其他条件不变时,若光强减弱,则PSD 输出电压减弱,即当入射光点位置
固
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