端面跳动测量的误差分离.pdfVIP

2007年第1期(总第169期) 端面跳动测量的误差分离 张剑飞 上海机床厂有限公司 （200093 ） 摘 要 介绍了为精确测量高精度回转台的端面跳动而设计一种测量和误差分离方法。它利用平面平晶，通过三点支撑校正 后作为理想平面，分离出平面平晶本身存在的端面跳动误差，从而提高了测量高精度转台端面跳动的测量精度。 关键词 理想端面的跳动 误差分离 数据的转换 随机误差 1 测量任务 常性因素造成的，它是可以减小或基本消除的。 有一个高精度转台，需要测量它在 φ150mm 范 围上的理想端面的跳动。众所周知，跳动一般是指 3 分离并剔除平面平晶的平面度系统误差 相对某一基准的圆跳动和端面跳动。这里的端面跳 平面平晶的平面度误差对测量结果的影响就 动是指一个实际存在的端面的跳动，在测量过程 是一个系统误差，设法从测量数据中分离出来。 中，其跳动量不仅包含着由测量基准自身误差所造 先来看一个例子，如图 1 所示，设：平面平晶 成的在端面上的跳动误差，还包含着被测端面与测 外圈上 a、b 、c、d、e、f、g、h 八个点相对于平面 量基准（回转轴线）的不垂直度。 现在，我们面临着三个问题。第一，在测量端 y 轴 7 面跳动中不能把被测端面与基准的垂直度误差和 8 6 h g 本身的平面度误差带进去，换言之，就是要测量理 f 1 a 5 想端面的跳动，就是该跳动是符合最小包容原则的 e x 轴 b d 跳动；第二，精度要求高，其跳动要求≤0.000 1 mm 。 c 4 2 对于跳动要求≥0.001 mm 转台，我们可以直接用 Ø 150 mm 的一级平晶（平面度为0.000 05 mm ）、或二 3 平面平晶 级平晶（平面度为 0.000 1 mm ）通过三点支撑校准 后来替代理想平面。而现在跳动要求≤0.000 1 mm 可调等高块 直接用平面平晶来替代理想平面显然是有困难的； 第三，很难把三点支撑的平晶调整到符合这么高要 转台 求的与理想平面平行的范围之内。 因此，我们用φ150 mm 的二级平面平晶来作 理想平面，但是必须把平面平晶自身的平面度误 电感测微仪 差、以及平晶与理想平面的平行度误差所造成的跳 图 1 转台端面跳动测量装置 动量从测量数据中分离出来，通过转换加以消除。 所谓理想端面的跳动就是仅由测量基准（回转 平晶