阴极组件钎焊用RuB合金钎料研制.pdfVIP

学兔兔 ． 钎焊专题 俘掳 阴极组件钎焊用 RuB合金钎料研制 贵研铂业股份有FSJ2稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室(昆明市 650106) 李 伟 罗锡明 许 昆 陈登权 张健康 戴 华 郭根生 摘要 阴极组件是微波器件的心脏部件，其连接技术水平对其性能和寿命具有极其重要的影响。根据Ru．B 二元相图，设计了RuB合金钎料的化学成分，并进行 了RuB合金钎料的制备、熔化温度及钎焊工艺等性能试验研 究。结果表明：试验研究的RuB合金钎料的熔化温度为 1390—1430℃；在母材 W，Mo上的润湿性、铺展性能好 ， 能完全润湿母材 ，铺展面积是放置钎料面积的l0倍；采用RuB合金钎料钎焊 W，Mo阴极组件，不会造成w 电极污 染和中毒，该钎料能满足W，Mo阴极组件的钎焊要求。 关键词： 阴极 组件 钎焊 RuB合金钎料 中图分类号： TG425 ．2 度见表 1。根据真空电子器件阴极组件的钎焊温度 O 前 言 (1400—1500oC)和蒸气压的要求，选择了Ru．B二元 阴极组件的组装是微波电真空器件生产制造和研 合金为研究对象，并进行了化学成分、熔化温度、钎焊 发进程中的核心技术之一_1I2J，阴极组件常被称为是 工艺和钎缝处成分分布等试验研究。 微波电真空器件的 “心脏部件”。在热子加热阴极组件 根据元素在 1200oC的蒸气压数据 计算的部分 中，阴极 (w)的大部分热量是通过支撑筒 (Mo)热传导 元素在 1200℃的蒸汽压(表2)和Ru—B二元合金相图 到阴极表面上，所以支撑筒与阴极的连接显得至关重 (图1)，研究选用 RuB二元合金钎料接近共晶成分一 RuB， 要 』。因此在微波电真空器件的研发领域中，阴极组 ～ (B的质量百分 比)。因为共 晶型合金钎料 件的连接技术将在很大程度上决定真空电子器件尤其 表 1 钎焊阴极组件常用钎料及熔化温度”-2,4] ℃ ； ； 是大功率微波器件的发展进程。目前常用的阴极组件 钎料 熔化温度 5 O O O铝 0 0 连接方法有激光焊、电子束焊和钎焊等手段。由于钎 MoRu43 焊具有设备价格低廉、连接精度高和可施行保护气氛 WCo75 或真空条件下焊接防止工件氧化等特点，所 以钎焊是 在阴极组件连接方法研究中的热点之一。 PdNb5o NiCo60 1 合金钎料的选择依据