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表面分析技术:第五章X射线光谱分析02.ppt

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表面分析技术:第五章X射线光谱分析02详解

第二篇 成分和价键结构分析 第五章 X射线光谱分析 成分和价键分析概论 X射线的产生 X射线与物质的相互作用 X射线光谱分析 5.1 成分和价键分析概论 基本原理:核外电子的能级分布反应了原子的特征信息。利用不同的入射波激发核外电子,使之发生层间跃迁,在此过程中产生元素的特征信息。 根据出射信号的不同,成分分析手段分为两类:X光谱和电子能谱,出射信号分别是X射线和电子。 X光谱包括X射线荧光光谱(XFS)和电子探针X射线显微分析(EPMA) 电子能谱包括X射线光电子能谱仪(XPS )、俄歇电子能谱仪(AES)、电子能量损失谱(EELS)等。 各种分析手段的特点 X光谱(所探测的样品出射信号是X射线): 表面+内部信息 空间分辨率不高 无法探测元素的化学环境 电子能谱(所探测的样品出射信号是电子): 表面元素分析 表面元素价态分析 基本原理 入射电磁波或物质波与样品原子作用,导致原子的总能量升高处于激发状态。 激发态不稳定,原子较外层电子将跃迁入内层填补空位,使总能量降低趋于稳定。 跃迁的始态和终态的能量差?E为原子的特征能量,由元素种类决定,并受原子所处环境的影响。 可以根据一系列的?E确定样品中的原子种类和价键结构。 样品发射的俄歇电子、光电子动能或X射线波长就由?E决定。 5.2 X射线的产生 X射线的本质 X射线是一种波长很短的电磁波,在电磁波谱上位于紫外线和γ射线之间,波长范围是0.5-2.5埃。 具有波粒二象性 X射线的能量与频率或波长有关 X射线的产生原理 电子束轰击 内层电子逸出,外层电子跃迁 能量差释放 特征X射线 电子与原子核作用,能量损失 连续X射线 X射线谱 X射线的强度I随波长λ变化的关系曲线。 X射线强度:单位时间内通过与X射线传播方向垂直的单位面积上的光量子数目的能量总和。 X射线管阳极靶发射出的X射线谱分为两类:连续X射线谱和特征X射线谱 连续X射线谱 X射线谱由连续谱和特征谱组成. 连续谱,包括一个连续的X射线波长范围,有两个基本指标即λ0和λm 实验规律及解释 连续X射线的总能量随管电流、阳极靶原子序数和管电压的增加而增大。 特征X射线谱 对于W靶的X光管来讲,当管电压增大到20KV以上时,则将在连续谱基础上产生波长一定的谱线特征X射线(标识X射线)。特征波长值是固定的,仅与阳极靶材有关。既使电压继续增大,也只有强度增大而波长固定不变。 当一个外来电子将K层的一个电子击出成为自由电子,这时位于较外层较高能量的L层电子就跃迁到K层。这个能量差ΔE=EL-EK=hν将以X射线的形式放射出去,其波长λ=h/ΔE必然是个仅仅取决于原子序数的常数。这种由L→K的跃迁产生的X射线我们称为Kα辐射,同理还有Kβ辐射,Kγ辐射。 不过离开原子核越远的轨道产生跃迁的几率越小,所以高次辐射的强度也将越来越小。 特征X射线 5.3 X射线与物质的相互作用 X射线到达物质表面后的能量将分为三大部分,即散射、吸收、透射 X射线被物质散射时可以产生两种散射现象,即相干散射和非相干散射 1 相干散射和非相干散射 物质对X射线散射的实质是物质中的电子与X光子的相互作用。当入射光子碰撞电子后,若电子能牢固地保持在原来位置上(原子对电子的束缚力很强),则光子将产生刚性碰撞,其作用效果是辐射出电磁波-----散射波。这种散射波的波长和频率与入射波完全相同,新的散射波之间将可以发生相互干涉-----相干散射。X射线的衍射现象正是基于相干散射之上的。 当物质中的电子与原子之间的束缚力较小(如原子的外层电子)时,电子可能被X光子撞离原子成为反冲电子。因反冲电子将带走一部分能量,使得光子能量减少,从而使随后的散射波波长发生改变。这样一来,入射波与散射波将不再具有相干能力,成为非相干散射。作为晶体衍射的背底 。 2 X射线的吸收 X射线将被物质吸收,吸收的实质是发生能量转换。这种能量转换主要包括光电效应和俄歇效应。 光电效应 :当入射X光子的能量足够大时,还可以将原子内层电子击出使其成为光电子。被打掉了内层电子的受激原子将产生层电子向内层跃迁的过程,同时辐射出波长严格一定的特征X射线。为区别于电子击靶时产生的特征辐射,由X射线发出的特征辐射称为二次特征辐射,也称为荧光辐射。 俄歇效应 俄歇电子的产生——俄歇效应 当具有足够能量的粒子(光子、电子或离子)与一个原子碰撞时,原子内层轨道上的电子被激发出后,在原子的内层轨道上产生一个空穴,形成了激发态正离子。 例如X射线激发固体中的原子内层电子,原子在发射光电子的同时内层出现空位,此时原子处于激发态,将会以两种方式退激发: 发射特征X射线:原子内层(例如K层)出现空位,较外层 (例如L层)电子向内层辐射跃迁,发射荧光(二 次)X射线,h? =

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