传感器与检测技术07章电容.ppt

* 第7章 电容式传感器 7.1 工作原理与特性 7.2 测量电路 电容式传感器的应用 7.1.1 工作原理与特性 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为 式中: ε——电容极板间介质的介电常数, ε =ε0·εr, 其中ε0为真空介电常数, εr为极板间介质相对介电常数; A——两平行板所覆盖的面积; ——两平行板之间的距离。 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。 一、 变极距型电容传感器 传感器的输出特性C =f( )不是线性关系, 而是双曲线关系。只有在 很小时，C1与 近似呈线性关系, 有近似的线性输出。 由式可以看出, 在 较小时, 对于同样的 变化所引起的ΔC可以增大, 从而使传感器灵敏度提高。但 过小, 容易引起电容器击穿或短路。为此, 极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质, 此时电容C变为： 式中: εg——云母的相对介电常数, εg= 7; ε0——空气的介电常数, ε0= 1; ——空气隙厚度; ——云母片的厚度。 云母片的相对介电常数是空气的7倍, 其击穿电压不小于1000 kV/mm, 而空气的仅为3kV/mm。 因此有了云母片, 极板间起始距离可大大减小。同时, 式中的 项是恒定值, 它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广。 二、 变面积型电容式传感器 很明显, 这种形式的传感器其电容量C与水平位移Δx是线性关系。 图 5 - 5 是电容式角位移传感器原理图。当动极板有一个角位移θ时, 与定极板间的有效覆盖面积就改变, 从而改变了两极板间的电容量。当θ=0 时, 则 可以看出, 传感器的电容量C与角位移θ呈线性关系。 三、 变介质型电容式传感器 7.1.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 除变极距型电容传感器外, 其它几种形式传感器的输入量与输出电容量之间的关系均为线性的, 故只讨论变极距型平板电容传感器的灵敏度及非线性。 当 可按级数展开，得: 它说明了单位输入位移所引起输出电容相对变化的大小与 呈反比关系。 但是: 要提高灵敏度, 应减小起始间隙 , 但非线性误差却随着 的减小而增大。 在实际应用中, 为了提高灵敏度, 减小非线性误差, 大都采用差动式结构。 变极距型差动平板式电容传感器结构示意图 可见, 电容传感器做成差动式之后, 灵敏度提高一倍, 而且非线性误差大大降低了。 7.2 测量电路 电容式传感器中电容值以及电容变化值都十分微小, 这样微小的电容量还不能直接为目前的显示仪表所显示, 也很难为记录仪所接受, 不便于传输。这就必须借助于测量电路检出这一微小电容增量, 并将其转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。电容转换电路有调频电路、运算放大器式电路、二极管双T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等。 调频振荡器的振荡频率为 式中: L——振荡回路的电感;  C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+C0±ΔC。 其中, C1为振荡回路固有电容; C2为传感器引线分布电容; C0±ΔC为传感器的电容。 虽然可将频率作为测量系统的输出量, 用以判断被测非电量的大小, 但此时系统是非线性的, 不易校正, 因此加入鉴频器, 将频率的变化转换为振幅的变化, 经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。调频测量电路原理框图如图示。 一、 调频测量电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时, 振荡器的振荡频率就发生变化。 当被测信号为0时, ΔC =0, 则C =C1+C2+C0, 所以振荡器有一个固有频率f0。 当被测信号不为 0 时, ΔC≠0, 振荡器频率有相应变化, 此时频率为 调频电容传感器测量电路具有较高灵敏度, 可以测至0.01 μm级位移变化量。频率输出