薄膜材料中的界面热力学.docVIP

Research of Materials Science December 2013, Volume 2, Issue 4, PP.58-68 Interface Thermodynamics in Thin Film Materials Wei Jian, Bing Lin, Lin Huang, Jiangyong Wang? Department of Physics, Shantou University, Shantou 515063, China ?Email: wangjy@ Abstract Interface-mediated phenomena have been a focal point of interest in recent years due to the developments in advanced thin films. The interface thermodynamics developed for quantitative interpretation of interface-mediated phenomena is reviewed. As an example, the mechanism of Al-induced crystallization of amorphous Si is interpreted quantitatively. Keywords: Interface Energy; Surface Energy; Thermodynamics; Thin Films; Phase Transformation 薄膜材料中的界面热力学* 简玮，林冰，黄琳，王江涌 汕头大学 理学院物理系，广东 汕头 515063 摘 要：近年来，先进薄膜材料的发展使得界面调控现象成为一个研究热点。本文对定量解释界面调控现象的界面热力 学作了综述，其应用的一个例子就是对铝诱导非晶硅晶化的机制给予了定量解释。 关键词：界面能；表面能；热力学；薄膜体系；相变 引言 随着薄膜技术的飞速发展，各种材料的薄膜化已经成为一种普遍趋势。薄膜材料已广泛应用于电子、再 生能源、材料改性等领域之中。不同于块体材料，薄膜体系中的表面或界面占有较高的体积浓度，其能量的 变化对整个系统能量的改变有着极大的影响[1-4]，因此表面和界面在薄膜材料中起着至关重要的作用。近年来， 解释发生在表面和界面中的反应和相变引起了广泛的关注，已成为目前薄膜材料中的一个研究热点。 当薄膜材料的厚度缩小到纳米尺寸时，其材料的特性相比于块材来说发生了很大的改变，显微结构上的 变化会扰乱晶格周期性，从而约束了粒子在体系中的运动情况[5-6]，而这种变化相对于块材材料来说并不明显， 因此传统处理块体材料中的反应和相变问题的热力学方法已不适用于薄膜材料。近年来，针对表面和界面显 微结构变化的热力学方法取得了极大进展，使得发生在薄膜材料中的相变，诸如金属/金属多层膜体系中由界 面和晶界互扩散产生的固态非晶化[7]、金属氧化物非晶态与晶态的转变[3]、金属诱导晶化[8]和晶须自发生长[9] 等现象得以解释。 界面热力学的核心就是通过实验或计算的方法获得所研究材料的表面能和界面能（对于界面能往往只能 通过计算的方法获得）。计算表面能和界面能的方法有两种：一种是基于量子力学发展而来的第一性原理方 法，这种方法通过求解多电子薛定谔方程来计算体系电子间相互作用势，从而获得材料体系的表面/界面能。 虽然该方法理论基础完备，但计算量庞大。对一些真实或是较为复杂的体系中无法进行计算，只能引入一些 近似的处理方法，这往往使得计算结果与实验数据相差较大；另一种属于经验或半经验方法，其中以 Miedema 理论较为成熟。Miedema 等人总结了二元合金系统中的热力学规律，提出了宏观原子（Macroscopic atom）模 型[10-12]。该模型不涉及原子结构，不考虑电子间相互作用，计算较为简便，而且许多计算的结果也与实验值 *基金项目：国家自然科学基金面上项目。 - 58 - /rms/相符，因此得到了广泛的应用。但是 Miedema 模型中一些参数的推导依赖于实验中其他可测参数，而且计算 中引进的一些常系数也是由实验测量值推导得到的，这使得模型本身带有经验性的缺陷。 1 界面热力学 薄膜材料中处于表面或界面的原子所占比例较大，在其中发生的反应和相变将受到表面和界面能量变化 的影响，特别是当相变的成核是发生在薄膜中的界面时，界面能的改变将会对相变的发生起着决定性的作用。 考虑到表面和界面能量对薄膜体系结构的影响，Sommer 等人在 Miedema 理论的基础上提出了界面热力学方 法[13-14]。 表面和界面体系结构如图 1