四极质谱计气体分析与测量系统的研制.PDF

第 32 卷 第 3 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.32, No.3 2 0 1 2 年 9 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics Sep. 2012 文章编号：0254−6086(2012)03−0229−06 四极质谱计气体分析与测量系统的研制 蔡 潇，曹 曾，黄向玫，许正华，崔成和，高霄雁 (核工业西南物理研究院，成都 610041) 摘 要：介绍了为开展漏孔检测、氘-氦分辨性能及真空检漏技术等相关实验研究而进行的四极质谱计分析与 测量系统的研制，描述了真空室结构、抽气设备的选型、测量仪器的选择及控制保护子系统工作方式。对系统进 行了包括极限真空、残余气体质谱分析、漏放气率、质谱计性能等测试，结果表明本系统达到了设计要求。 关键词： 流导；漏放气率；灵敏度；离子流 中图分类号：TL62+8 文献标识码：A 1 引言 和控制保护等几部分组成。 国际热核聚变实验堆(ITER)是目前国际核聚 变研究领域正在规划建造的托卡马克装置。它拥有 全球最大、最复杂的高真空系统，其体积达到了 4600m3 ，并且在建成后将进行氘氚核聚变反应研 究。由于真空检漏所使用的示踪气体氦与氘、氚的 质量数十分接近，检漏系统的灵敏度将受到真空室 器壁所释放氢同位素的严重干扰，通用的氦质谱真 空检漏方法难以完全满足 ITER 以及未来聚变堆的 实验运行需要。ITER 的真空检漏系统采用了具有 分辨氦和氢同位素能力的高分辨质谱分析检漏技 术，并通过设计压缩采样抽气系统实现对氢同位素 氘的抑制[1] 。因此，建立一套四极质谱分析与测量 系统，开展漏孔检测，氘、氦分辨性能及真空检漏 技术等相关实验研究，对掌握高分辨质谱分析检漏 图 1 质谱分析与测量系统结构图 1——D 、N 、He 气源；2——稳压室；3——微调阀；4——10−7 、 技术和工艺，提高我国大型托卡马克乃至未来聚变 −8 −9 2 2 10 、10 He 标准漏孔；5——超高真空直角阀； 6——主真空室；7—— 堆的工程设计和制造能力有着重要的意义。 四极质谱计；8——∅33 孔；9——B-A 型电离真空计；10——冷阴极型 电 离 真 空 计 ； 11——宽 量 程 真 空 计 ； 12——超 高 真 空 插 板 阀 ； −1 2 四极质谱分析与测量系统 13——1300L·s 涡轮分子泵；14——电阻计；15——∅63×200 真空室； −1 −1 16——70L·s 分子泵； 17——检漏仪进口； 18——3L·s 直联泵。 四极质谱分析与测量系统的结构如图 1 所示。 主要由标准漏孔、供气系统、分析系统、抽气系统 2.1 系统真空室结构 收稿日期：2011−11−10；修订日期：2012−06−18 基金项目：国家磁约束核聚变能研究专项资助项目(2010GB1008002) 作者简介：蔡潇(1974−) ，男，湖南省永州市人，工程师，主要从事真空应用与研究。 230 核聚变与等离子体物理