新型同步箝位控制压电马达-振动与冲击.PDF

振　动　与　冲　击 第３２卷第２３期 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＶＩＢＲＡＴＩＯＮＡＮＤＳＨＯＣＫ Ｖｏｌ．３２Ｎｏ．２３２０１３　  新 型 同 步 箝 位 控 制 压 电 马 达 １，４ １，２ １，３ １ １ 贺良国 ，刘永斌 ，张　祺 ，张连生 ，潘巧生 （１．中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系，合肥　２３００２７；２．安徽大学 电气工程与自动化学院，合肥　２３００３９； ３．中国科学院 重庆绿色智能技术研究院 智能制造技术研究所－机器人技术研究中心，重庆　４０１１２２； ４．合肥工业大学 机械与汽车工程学院，合肥　２３０００９） 　　摘　要：提出一种新型谐振驱动同步箝位控制压电马达，该压电马达由一个谐振驱动振子和同步箝位开关构成，结 合超声马达的谐振驱动与尺蠖马达的控制机理，使输出组件沿导轨产生直线运动。详细分析了该压电马达的运动机理，采 用有限元仿真法确定结构尺寸，研制了样机并进行了性能测试与分析，实验结果表明该种压电马达具有良好的性能。 关键词：压电马达；运动机理；箝位；同步控制；步进 中图分类号：ＴＨ１１３．１；ＴＭ３５９．４　　　文献标识码：Ａ Ａｎｏｖｅｌｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｍｏｔｏｒｗｉｔｈｓｙｎｃｈｒｏｎｏｕｓａｎｃｈｏｒｉｎｇ／ｌｏｏｓｅｎｉｎｇｃｏｎｔｒｏｌ １，４ １，２ １，３ １ １ ＨＥＬｉａｎｇｇｕｏ ，ＬＩＵＹｏｎｇｂｉｎ ，ＺＨＡＮＧＱｉ ，ＺＨＡＮＧＬｉａｎｓｈｅｎｇ，ＰＡＮＱｉａｏｓｈｅｎｇ （１．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｒｅｃｉｓｉｏｎＭａｃｈｉｎｅｒｙａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎ，ＵＳＴＣ，Ｈｅｆｅｉ２３００２７，Ｃｈｉｎａ； ２．ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ，ＡｎｈｕｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＨｅｆｅｉ２３００３９，Ｃｈｉｎａ； ３．ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＧｒｅｅｎａｎｄＩｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＩｎｓｔｉｔｕｅｏｆＩｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔ ＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇＣｅｎｔｅｒｆｏｒＲｏｂｏｔｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０１１２２，Ｃｈｉｎａ； ４．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＡｕｔｏｍｏｔｉｖｅＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈｅｆｅｉ２３０００９，Ｃｈｉｎａ） 　　Ａｂｓｔｒａｃｔ：　Ａｎｏｖｅｌｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｍｏｔｏｒｗｉｔｈｓｙｎｃｈｒｏｎｏｕｓａｎｃｈｏｒｉｎｇ／ｌｏｏｓｅｎｉｎｇｃｏｎｔｒｏｌｏｆｈａｒｍｏｎｉｃｖｉｂｒａｔｉｏｎｗａｓ ｐｒｏｐｏｓｅｄ．Ｉｔｗａｓｃｏｍｐｏｓｅｄｏｆａｒｅｓｏｎａｎｔｖｉｂｒａｔｏｒａｎｄａｓｙｎｃｈｒｏｎｏｕｓｃｌａｍｐｃｌｕｔｃｈ．Ｉｔｓｏｕｔｐｕｔｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓｗｅｒｅｍａｄｅｔｏ ｇｅｎｅｒａｔｅａｌｉｎｅａｒｍｏｔｉｏｎａｌｏｎｇｌｉｎｅａｒｇｕｉｄｅｂｙｃｏｍｂｉｎｉｎｇｔｈｅｒｅｓｏｎａｎｔａｃｔｕａｔｉｏｎｏｆｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｍｏｔｏｒｓａｎｄｔｈｅｃｏｎｔｒｏｌ ｍｅｃｈａｎｉｓｍｏｆｉｎｃｈｗｏｒｍｍｏｔｏｒｓ．Ｔｈｅｍｏｔｏｒｓｏｐｅｒａｔｉｏｎａｎｄｄｒｉｖｉｎｇｍｅｃｈａｎｉｓｍｗａｓａｎａｌｙｚｅｄｉｎｄｅｔａｉｌ．Ａｐｒｏｔｏｔｙｐｅｍｏｔｏｒ ｗａｓｆａｂｒｉｃａｔｅｄ，ｔｅｓｔｅｄａｎｄａｎａｌｙｚｅｄ．Ｔｈｅｔｅｓｔｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｅｄｔｈａｔｔｈｅｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉ