闪耀光栅阵列用于半导体激光器列阵光束整形.pdfVIP

第17 卷 增 刊 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 17, No. S0 2005 年4 月 HIGH POWER LASER AND PART ICLE BEAMS A pr. , 2005 : 1001 4322(2005) S0 0062 05 * 郑春艳, 郑国兴, 周崇喜, 杜春雷 ( 中国科学院 光电技术研究所 微细加工光学技术国家重点 验室, 四川 成都610209) : 介绍了半导体激光器列阵的光束整形理论, 设计并制作了由两个闪耀光栅阵列构成的整形光学 系统, 理论计算表明该系统能将激光器快、慢轴方向的光参数积变为5.7 mm # mrad 和8.9 mm # mrad。在整 形 验中测得变换后快、慢轴方向的光参数积分别为12 mm # mrad 和9.5 mm # mrad, 经透镜聚焦后能够 现 与芯径200 Lm, 数值孔径0.22 的光纤耦合。 : 激光技术; 光束整形; 闪耀光栅; 半导体激光器列阵; 衍射光学器件; 光纤耦合 : T N248.4 : A 近年来, 大功率半导体激光器列阵被广泛应用于泵浦固体激光器、光纤激光器及激光医疗、材料处理等领 [ 1] 域, 但由于其输出光束的质量较差而影响了它的直接应用。光束质量一般常用光参数积来衡量 , 光参数积 ( BPP) 定义为激光束的光腰半径与远场发散角半角的乘积, 光参数积的值越小, 光束质量就越好。半导体激光 器列阵的输出光束在垂直于结平面( 快轴) 方向和平行于结平面( 慢轴) 方向是非对称的, 光束质量很不均衡。 快轴方向的光束质量接近衍射极限, 光参数积只有零点几mm # mrad; 慢轴方向的光束质量较差, 光参数积达 到几百mm # mrad, 是快轴方向的几百甚至上千倍。这样的光束不可能通过传统的成像光学系统聚焦成对称 的小光斑以满足 际应用的需要, 必须采用特殊的光学器件对光束进行整形, 减小慢轴方向的光参数积, 现 两个方向光束质量的均衡。 [ 2] [ 3] [ 4] 目前, 国内外报导的整形方法主要有双平面反射镜法 、阶梯反射镜法 、多棱镜阵列法 、棱镜组折反射 [ 5] [ 6] [ 7] 整形法 、微片棱镜堆整形法 及衍射微透镜法 等。这些整形方法都存在器件加工困难或不易装调等问题。 本文采用闪耀光栅阵列( 透射式) 来 现光束整形, 用这种方法进行整形在国内未见报导, 国外仅有少量[ 8] 报导, 也还不成熟。由于闪耀光栅阵列结构简单, 集成性好, 所以加工装调都比较容易。本文根据 际激光器 的参数及光纤耦合的要求设计、制作了闪耀光栅阵列, 并进行了光束整形及光纤耦合 验。 1 半导体激光器列阵的光束整形是通过光束重排来 现 的, 即把准直后的激光束在慢轴方向分割成若干段, 再让这 些子光束在快轴方向重新排列形成对称的光场分布, 这样 慢轴方向由于光束尺寸减小了, 所以光参数积也减小了。 对典型的线阵激光器, 准直后的激光束为一条细线( 如图1 所示) , 若把光束在慢轴方向分割成N 段, 则整形后慢轴方 向的光参数积将减小为 1/ N , 快轴方向的光参数积相应增 Fig. 1 Schematic of beam rearrang