冷场发射扫描电镜维护.PDF

Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 冷场发射扫描电镜维护 日常保养和维护的目的：最大限度消除扫描电镜的干扰因素， 使其处于最佳的工作状态，获得良好的图像质量和分析结果。同时 可以通过日常维护保养，能够及早发现和解决潜在问题。 冷场扫描电镜日常保养维护内容： 1. 冷却循环水机维护 ：每月检查一次，记录是否下降并及时补充，换 水以及清洗过滤网（频率：一年一次以上） 2. 空气压缩机维护 ：放水（频率：一个月一次以上），见图一 图一：循环水机和空气压缩机 3. 机械泵、干泵维护 ： 机械泵：半年一次以上，当机油雾收集器附着油液或有油烟时立即 更换。当油的颜色变为茶色时或换油过了六个月时：停机→交换油 →开机 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 干泵：一年一次，委托售后人员维护保养。 4. 烘烤与机械对中 （频率：一年一次以上） 烘烤流程：拆下最上端电磁罩→拆下电子枪→取下镜筒罩→装上 Outer 加热器→装上 Inner 导线→把两对导线连接到后面板→放置 高温注意牌提醒→前面板定时→开后面板总开关→开始烘烤→结束 机械对中流程：1KV ，flashing ，记录电流值及IP 值→软硬件光阑 归零→空样品台加高压→选软件Align 调光斑→机械调整→聚光镜 光阑对中→物镜可动光阑对中→象散对中→完成 图二：机械泵及内外烘烤装置 5. 紧急停电关机处理 紧急关机 在紧急情况下，按下红色 EMERGENCY OFF 按钮顺时针旋转到底， 系统关机后，将各开关按钮拨至正常停机位置。 短时间关机 退出 PC_SEM程序→退出系统→关闭 DISPLAY→关闭EVAC→等待 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 约 35 分钟后 Multi Indicator 区域显示“POFF”→关闭 MAIN SWITCH→关闭电源总开关。 6. 长时间停机程序 1.先关闭 HV 和 PC ，然后关闭DISPLAY ，关闭STAGE ； 2.将 EVAC POWER 拨到 O（OFF ），等待35 分钟， 真空系统（离 子泵停下来后分子泵会停）停止。面板上显示有“POFF”字样； 3.将 IP1 ，IP2 ，IP3 都拨到 OFF 档； 4.将关闭 IP ，EVAC ，DISPLAY 与 OUTER BAKAE ，然后关掉 MAIN breaker; 5 停止循环水机工作。 7. 开机程序 1. 在 DISPLAY 后面， 先将 MAIN breaker 开关处于 ON ，同时， 一边手按住 RESET ； 2. 开 IP ，EVAC ，DISPLAY ； 3.将真空操作面板的 IP1 ，IP2 ，IP3 都拨到 ON 档； 4. 将 EVAC POWER 拨到 ON ，注：从抽真空到完成需1 小时；然 后 APT HEATER 拨到