多晶硅工艺中英文对照表.docVIP

多晶硅工艺中英文对照表 硅烷(SiH4)：Silane 二氧化硅(SiO2) ：Silica 一氯三氢硅(SiH3Cl)：Monochlorosilane 二氯二氢硅(SiH2Cl2)：Dichlorosilane(DCS) 三氯氢硅(SiHCl3)：Trichlorosilane(TCS) 四氯化硅(SiCl4)：Silicon Tetrachloride(STC) 冶金级硅：Metallurgical-Grade Silicon(MG-Si) 多晶硅：Polycrystalline Silicon(Polysilicon) 单晶硅：Single Crystal(Crystal) 硅树脂：Silicone 硅油：Silicon Oil 载气：Carrier Gas 粉末二氧化硅 ：Fumed Silica 光纤：Fiber optil 外延层：Epitaxial Layer 非晶(无定形)层：Amorphous Layer 多晶层：Polysilicon Layer 化学汽相沉积工艺：Chemical-vapor-deposition processes 棒状、块状多晶硅：Rod、Chunk Polysilicon 少数载流子寿命：Minority Carrir life-time 晶格：Crystallographic Lattice 施主杂质：Dopant impurity