电流法高阻测试方案.doc

电流法高阻测试方案 系统特点： 提供整体测试方案，能完成所有测试项目。 高精度高阻测试仪器。 系统软件及强有力的技术支持。 一、公司简介： 美国吉时利仪器公司(Keithley(Instruments,Inc.)创建于1946年，总部设在美国俄亥俄州克利夫兰市。五十多年来,它在设计生产高精度精密测量仪器方面一直处于世界领先地位,近几年，不仅在极弱电学量测量仪器方面，还在无线通讯、电子元器件等产品测试方面都成果显著，享有很高的声誉。 吉时利仪器公司的基本测试能力是:电流1x10－17A,电压1x10－12V,电阻1x10－10(1x1020(,电容1x10-17F,电荷1x10-16C,温差1x10-6(C,这代表了当今极弱信号测量的世界领先水平。 吉时利仪器公司，其产品分为精密仪器、数据采集与半导体测试三部分。其中精密仪器主要有高性能台式数字万用表(从四位半至八位半全系列),纳伏表,微欧计,微安电流表,静电计/高阻表,多功能数字源表,程控电流源、电压源,精密源－测量单元(SMU),LCZ表,频率计等,还生产程控开关控制器和各种高性能开关卡,用于组成从几路到多达上千路的多参数自动测量系统,此外还生产快速微电流放大器,低噪声纳伏前置放大器,低热电势分压器, 微电流、超高阻与电荷校准源,以及基于Windows的软件开发平台TestPoint等。 数据采集部分主要指PC控制的数据采集软件和硬件产品(最高速度可达1GHz),包括数据采集板、采集器，信号调理产品,虚拟仪器，笔记本用PCMCIA采集卡，多种IEEE－488接口板和RS-232/422/485接口板,定时计数器板及马达驱动板等,还有实时性极强(响应时间 0.5(s)的测量与控制系统ADwin,获得世界十佳测量产品的SmartLink――可直接上以太网、USB和RS－232/422/485的高精度(20bit)、离散式、现场采集系统。丰富的软件,不仅支持DOS,Windows3.X,还支持Windows95和Windows(NT,并有TestPoint,DriverLINX为代表的功能强大的数据采集软件。 半导体测试部分主要包括半导体晶片阶段和封装成品的I-V测量系统,C-V测量系统,霍尔效应测试系统,自动参数测试系统以及系统运行的软件包。 质量，服务，创新，完善一直是指导公司发展的宗旨。吉时利仪器公司的产品遍及世界各主要国家的国家实验室，军队实验室，大学，电子工业，半导体工业和计量质量控制部门，包括1985年和1987年诺贝尔物理学奖获得者的 主要实验仪器都是吉时利仪器公司的产品。吉时利仪器公司建立了约瑟夫森电压标准，它为高灵敏度测试仪器的生产和检定提供了强有力的质量保证。 其产品的计量标准直接溯源于美国标准技术研究院(NIST)，并符合美国军标(MIL-STD-45662A)。吉时利仪器公司并已经取得了ISO9001国际质量标准的认证。 二、系统概述： 测试原理框图：（高阻测试） 7x7154 and 7x7158 all place in 7002 mainframe 系统组成包括： Keithley2410 : 1台； Keithley6485 : 1台； 7158: 7块 7154: 7块 7002 : 2台 4801 ：7根 4802-10：70根 7078-TRX-BNC : 一个 KPCI-488 GPIB接口卡，一块； 4．PC、软件及连接电缆等。（3条GPIB线） 在本系统中，采用独特的电流采集方式来测试高阻。2410是我们所用的主 机，电流测试能力能达到0.01fA，在此系统中采用低电流卡7158，高阻抗 的通道隔离，极小的躁声电流，1100V的多通道转换卡7154，7154提供 128通道的切换能力，7158提供128通道的电流测量能力，1M欧的保护电阻 主要是保证整个环路测试，以免意外损坏。另外，在输入端加上接地电阻 （R1=1M欧）作为测试完成后放电。以便测试更准确。其中，每切换2个 通道可以测试4个高阻。采用的是交换测试方式。 在测试高阻的过程中仍要考虑很多环境方面的因素：例如温度20℃±（0.5~3），相对湿度应控制在60%~70%。，尽量减少电磁干扰，测试仪器 需单点接地来消除地躁声，保持纯净的AC电源输入。 2410+6485 Electrometer/High Resistance Meter 1fA-20mA Current Measurement range 20uV burden voltage on lowest current range 200T input impendence 0.75fA p-p noise