蓝宝石抛光技术的研究进展.pdfVIP

维普资讯 机 电园地 蓝宝石抛光技术的研 究进展 郭晓艳 ，魏 昕，谢 昕 (广东工业太学， 广东广 510090) 1前言 蓝宝石具有硬度高、熔点高、透光性好 、热传导性和 电绝缘 优 良、化学性能稳定等特点 ．敬它的成用和 商 化娃示着诱人的前景 ．故广泛周柞榷密投器仪表 、航 天 rl作红外疆光材料 、激光器的窗 和厦射镜，半导体 硅舶外延基片、半导体GaN的外延村底材料 绝缘村底 的集成芯片等 ill 在上述应用 中．蓝宝石霉件必须肯很 高的表面质量。所以，蓝宝石 的精密和超精密加工已成为 1 墟宝石机槭抛光表而檄艇樱型 制造技术领域 中的关键 问题 本文在综合归纳 目前常用的 几种蓝宝石抛光方法的赫础 ．介绍近几年出现的 一种新 及扩舣层等组成 蓝宝石抛光表晰的损伤层睬度与膳料的 型的抛兜技术——澈光抛光技术，并与传统的抛光方法进 粒径成正比关系 行 比较 ． t2)化学扭堑光 2抛光方法及其影响因素 化学抛光主要采用对工忭材料具有腐蚀作用的抛光液 日前应用于蓝宝石 的抛光技术有多种 ．按照其工作原 对工件进行化学腐蚀去除材料 化学腐蚀的 目的足除去机 理和 式，主要可分为：机械抛光、化学抛光、化学机械 械抛光过程中在表面 E产生的机械损伤层，井清除各种沾 抛 光，激光抛光等 四犬类 污，从 Ilfi得到半整光亮 晶格完整的清浦表研 有文献 ，『 (I)机械抛光 研究报道 丁蓝宝 衬底 的化 学抛 光，结果表明：先将 蓝宝 机械抛光是篮宝石传统的抛光方法 、它采用人造金刚 石衬雇在 15Q(I~1550C的空气 中蕊热4小时后 ，糌柱 高堆 石微粉研磨膏进行抛光 于盘刚石硬度 (奘氏 1O级) 下用 H，P 怍抛光敞，温度360,4,00C，抛光 10分钟为抛 比蓝誊石 (莫氏9缎)高，且现有微粉分选工艺较落后使 光丧面质量最好 的条件。王晓辉等从腐蚀液组分的稳定 得激粉颗粒尺寸分布范围广，因而不可避免在蓝宝石单品 性、腐蚀速谴 的台理性 表面形貌J}句变化及损伤层 的去脒 抛光表面产生划癯。现在高椅手表越来越多地采用蓝常石 情况等多方面因索综合考虑蓝宝百衬底的化学抛光，认为 ． , 表蒙．其加 E方法是用金刚石儆粉在双暖研磨机上拙光， H． SO~：H_ PO4=3：I，温度 225。C．时间 】5分钟为 (0001)晶 最终的平面度可控制在±3¨肌 内 I张纯亮等人栗用锝抛 面蓝宝石村 I匠腐 鼬 的较好条件 i。j{{此条件 处理 的 光盘和南承 、盘剐石致少蛩辅料组成抛光液抛光蓝 石 (0001)品面蓝宦年衬底 已成功地用 于GaN 的金 有机物 后，将蓝盆百机械抛光表面分为三个阶段 ：徽破碎层去除 气相外延哇长巾 ．．化学抛光产生的破坏层深度教浅 ，但 阶段 过渡阶段和抛光表面形成阶段 图 】为机械抛光 抛光时需要的温度较高，容易导致抛光雾斑。一般化学脚 蓝蛊fi表丽散观榄型，蓝宝石表面是山微小埘痕、微裂纹 拽用1：生长前衬底的弛光 r东省科技}|蜊项 目 (项 目编号：2004BI(Y2010I8)和广州前科拄计划项 日 (项 目编号：2005JI--C0081j 嗍：一 — 囹乜 口●圈 维普资讯