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薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究.pdf
维普资讯
第26卷 第2期 太 阳 台邑 学 报 Vo1.26.No.2
2005年 4月 ACTA ENERGIAESOLARISSINICA Apr.,2005
文章编号:0254-0096(2005)02-0166-04
薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究
薛俊明,麦耀华,赵 颖,张德坤,
韩建超,候国付,朱 锋,张晓丹,耿新华
(南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 ,天津 300071)
摘 要:采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF—PECVD)技术制备非晶硅顶电池,采用甚高频等离子体增强
化学气相沉积(VHF—PECVD)技术制备微晶硅底电池,初步优化研究了薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池顶电池
与底电池的本征吸收层厚度匹配与电池电流匹配,以及氧化锌/金属复合背反射电极对电池的作用。研制出了面
积为 1.0cm 效率达9.83%的薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池。
关键词:叠层电池;微晶硅;非晶硅
中图分类号:TK513 文献标识码:A
池,是 目前国内外研究的热点方向。
0 引 言
本文采用RF—PECVD技术制备非晶硅顶电池,
在光伏电池领域,硅基薄膜太阳电池因其原材 采用VHF—P.ECVD技术制备微晶硅底电池,研制出
料储量丰富、无污染、制备工艺简单、便于大面积 了薄膜非晶硅/微晶硅叠层 电池,并初步优化研究
连续化生产等优点,受到国内外专家的广泛关注。 了顶电池与底电池的本征吸收层厚度匹配与电流匹
而传统的硅基薄膜太阳电池,即薄膜非晶硅太 配及ZnO/金属复合背反射电极的作用,制备出了
阳电池,因存在由于s.w效应…而引起的光致衰 面积为1.0cm2效率达9.83%的非晶硅/微晶硅叠
退问题,使电池的稳定性变差,尤其是本征吸收层 层太阳电池。
较厚的单结电池,电池衰退可达 30%以上,严重
1 实 验
影响了薄膜非晶硅电池的大面积推广应用。
新型的薄膜微晶硅既具有硅基薄膜太阳电池制 本文以日本 Asahi公司绒度为 13%的U—type
备工艺简单、便于大面积连续化生产等优点,更具 SnO:F透明导电薄膜为前电极,在RF—PECVD沉
有晶体硅带隙小、稳定性高的特点,是制备薄膜太 积系统中采用13.56MHz的标准射频激发源制备非
阳电池的理想材料口一J。薄膜非晶硅/微晶硅叠层 晶硅顶电池,顶 电池结构为 glass/SnO2/p—a—SiC/
电池,即以非晶硅为顶电池,以微品硅为底电池的 buffer/i—a—Si/n—Ixc—Si,待冷却后取出样片,放入
叠层电池,是 目前获得高效率高稳定性硅基薄膜太 VHF—PECVD沉积系统,适当H处理后制备微晶硅
阳电池的最佳途径。这是因为,叠层电池的非晶硅 底 电池,底电池结构为P一c.Si/i一c—Si/n—a—Si,
子电池的本征吸收层较原来的单结电池的吸收层 其中P层和i层采用95MHz激发频率,n层仍然采
薄,可以抑制s—W 效应的作用,大大提高电池的 用 13.56MHz的标准射频激发频率。顶电池和底电
稳定性;以微晶硅为底电池可以将硅基薄膜太阳电 池都制备完成后,直接蒸发金属电极,或溅射
池的红光响应边 由非晶硅 电池的700nm扩展到微 ZnO:AI后再蒸发金属Ag电极,以构成 ZnO/Ag复
晶电池的1100nm,大大提高电池对太阳光的光谱 合背反射电极。电池面积 1.0cm。实验中制备了
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