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355nm激光器 南昌航空大学科技学院学士学位论文 1 绪 论 自 1960 年第一台红宝石激光器问世以来，激光器技术得到了迅速发展，而其中固体激光器以其独有的效率高、体积小、寿命长、运转稳定、维护方便等优点成为激光技术中最具有发展前途的研究领域之一。八十年代中后期，随着激光二极管的问世，LD 泵浦全固态激光器(Diode Pumped Solid-state Laser 或DPSSL)技术得到了极大的发展，特别是全固态绿光、紫外激光器的研究更是吸引了众多的科研工作者，一些性能优良的全固态激光器已走出实验室，以适中的价格和优良的性能进入激光器的市场。 世界上第一台激光器诞生于1960年，我国于1961年研制出第一台激光器，40多年来，由于激光具有单色性好，方向性强，相干性好及亮度高等优异性能，激光技术与应用发展迅猛。全固态激光器因体积小、结构紧凑、运转可靠、维护方便等一系列优点，一直吸引着无数的激光工作者们。在本章中对全固态激光器的发展现状、应用状况及355nm全固态紫外激光器国内外研究现状、泵浦方式作出了较全面地总结。 1.1激光器的发展与现状 激光器根据工作物质的不同主要可分为气体和固体两大类激光器。气体激光器是以蒸汽或气体作为工作物质产生激光；固体激光器是由玻璃或光学透明的晶体作为基质材料，掺与激活物质或激活离子产生激光。在固体激光器以前气体激光器一直都是激光器的唯一来源。 气体激光器可分为准分子激光器、离子激光器和氦-镉激光器三大类。这三类气体激光器的应用方式各有不同，准分子激光器主要以脉冲放式应用；氦-镉激光器和离子激光器主要以连续方式的应用。 气体激光器主要以准分子激光器为主。它是一种以准分子为工作物质的一种气体激光器。通常用横向快速脉冲放电或相对论中电子束能量大于200千电子伏特来实现激励的。当受激发态准分子中不稳定分子键断裂而离解成为基态原子时，受激发态的能量以激光辐射形式放出。主要可用于同位素分离、激光光谱学、光通信、生物学等领域。 离子激光器是一种以离子为工作物质的气体激光器。最常见的是氩离子激光器，其发出的蓝绿色激光正好可应用于医学眼科，并且可以水下作业。 氦-镉激光器是一种以镉金属蒸气为工作物质的气体激光器。主要可应用在血细胞计数、活字印刷、激光诱导荧光实验以及集成电路芯片检验等领域。 1 南昌航空大学科技学院学士学位论文 准分子激光器的光束质量差，需要用遮光膜将会损失95%或更多能量；离子激光器也有方向稳定性差等缺点。这几种气体激光器的缺点主要表现在设备庞大、设备费用高、能耗高、占地面积大、可靠性小、寿命短等。 固体激光器根据泵浦源的不同主要可分为连续弧光灯激光器、闪光灯激光器，和由于近年来激光二极管技术的飞速发展而实现的激光二极管泵浦全固态激光器。与市场上现有的这几种灯泵浦固体激光器相比，激光二极管泵浦全固态激光器具有许多显著的优点，主要体现在： （1）系统效率有所提高：和闪光灯发射效率相比较而言，激光二极管在808nm发射带与钕吸收带之间有很好的光谱匹配，从而达到高效率。实际上，闪光灯辐射出的能量与输入的电能量之间转换效率可高达70％，而激光二极管辐射出的能量与输入电能之间转换效率只有25％～50％。但是，不同的钕吸收带吸收只是闪光灯辐射能其中的一小部分，激光二极管输出的波长是可选择的，一般在特定的固体激光器中可使其都处于吸收带中从而提高转换效率。 （2）光束质量有所改善：激光二极管泵浦全固态激光器发射的波长和钕吸收带之间有很好的光谱匹配，从而使激光材料积累的热量减少了，降低了热透镜效应，进而使光束质量有很好的改善。再者由于激光二极管好的方向性，使得我们可以设计出泵浦光和低阶模之间存在很好模式匹配的谐振腔，从而有高亮度激光输出。 （3）高的脉冲重复频率：准连续激光二极管泵浦全固态激光器除了有连续弧光灯和闪光灯的连续运转和低重复频率特性以外，还能使固体激光器在几百甚至几千赫兹重复频率范围内脉冲运转。 （4）元件寿命有所提高：激光二极管泵浦全固体激光器的可靠性和系统寿命都比灯泵浦全固态激光器有所提高。当连续工作时，激光二极管的寿命约为104h，脉冲发射次数约为109；而闪光灯的寿命约为500h，脉冲发射次数约为108；连续弧光灯在管壁上容易有积淀物使其发生破坏性失效，通常也只有几百小时的寿命。 （5）能实现结构紧凑的激光系统：激光二极管光源比灯泵浦源输出有小的发射角和好的光束方向性，故有可能设计出结构紧凑的新型激光系统，例如端面泵浦激光器、光纤耦合激光器和微芯片激光器等。 （6）有利于健康：弧光灯泵浦系统中会有高温、高压脉冲和紫外辐射，而激光