半导体制程技术-联合大学.PDF

半導體製程技術 半導體製程技術 Introduction to Semiconductor Process Technology Introduction to Semiconductor Process Technology 許正興 許正興 國立聯合大學電機工程學系 國立聯合大學電機工程學系 Introduction to fabricated Integrated Circuits Semiconductor Material and Device Oxidation and Diffusion Lithographic technology Ion Implementation Etch Technology Thin Film Technology CMP Technology Process Integration CMOS Process 蝕刻的定義 移除晶圓表面的材料 化學蝕刻, 物理蝕刻 或是兩者的組合 選擇性蝕刻或是整面全區蝕刻 選擇性蝕刻是將光阻上的IC設計圖案轉移到晶圓表面 其他的應用: 光罩製作, 印刷電路板, (完稿)圖片與 清樣, 等 閘極光罩對準 閘 極光罩 光阻 多晶矽 STI USG P型井區 閘極光罩曝光 閘 極光罩 光阻 多晶矽 STI USG P型井區 顯影/硬烘烤/檢視 光阻 多晶矽 STI USG P型井區 蝕刻多晶矽 多晶矽 PR光阻 STI USG P型井區 蝕刻多晶矽 (續) 閘 極氧化層 多晶矽 光阻 STI USG P型井區 光阻剝除 閘 極氧化層