微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用.PDF

微纳米加工技术专题 微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用! 4 刘! 明 ! ! 陈宝钦! ! 谢常青! ! 王丛舜! ! 龙世兵! ! 徐秋霞! ! 李志钢! ! 易里成荣! ! 涂德钰 （中国科学院微电子研究所! 纳米加工与新器件集成技术实验室! 北京! ’%%%$5 ） 摘! 要! ! 微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度，光学光刻技术依然是目前的主流微纳 加工技术，同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术，文章介绍了自上而下的微纳加工技 术的进展及其在微纳器件研制的重要作用- 关键词! ! 自上而下的纳米加工，纳米器件 !#$%’$()* (+ ,$%-(. ))(+/-$%’$() () ,$%-(. ))( 0#0%’-$%# 102$%0* 4 678 903: ! ! ;= ?1@AB013! ! C7= ;(13:AB03:! ! DEF ;@3:AG(.3! ! 6HF G(0AI03: C8 B0.AC01! ! 67 J(0AF13:! ! K767 ;(L3:AM@3:! ! N8 OLAK. （!#$% ’($#’)%* + ,’*% - ./#0*%1%23 4’( ，5*6))7)/ % !#$%/1/#)$%*#6 ，80*/6/ 9#’:/;3 % #/*#/6 ，=/ *2 ’%%%$5 ，80*’ ） !/*’-%’3 3 902P@Q 313@ R1SP021)0@3 0T )(L U@V0313) R12)@P 03 032PL1T03: )(L 3.VSLP @R 2@V*@3L3)T *LP 2(0* 13U R.P)(LP T(P03W03: )(L T0XL @R ULY02LT- 83)0/ 3@, ，@*)021/ /0)(@:P1*(Z (1T SLL3 )(L V103T)PL1V )L2(3@/@:Z R@P )(L 03)L:P1)LU 20P2.0) 03U.T)PZ- [@P U0VL3T0@3T TV1//LP )(13 \#3V 0) 0T T)0// .3UL20ULU ,(1) 0T )(L SLT) L]*@T.PL VL)(@U- H*)0@3T 032/.UL L/L2)P@3 SL1V U0PL2) ,P0)03: 13U *P@^L2)0@3 ，13U L])PLVL ./)P1Y0@/L) （=8_ ）L]*@T.PL- ML2L3) *P@:PLTT 03 )@*AU@,3 313@AR1SP021)0@3 *P@2LTTLT T.2( 1T @*)021/ ，L/L2)P@3 SL1V 13U =8_ /0)(@:P1*(Z ， 13U )(L0P 1**/021)0@3T 03 V13.R12).P03: 313@AULY02LT 1PL PLY0L,LU- 4056(-1*3 3 )@*AU@,3 R1SP021)0@3 ，313@AULY02L 业领域，微纳加工技术是衡量半导体制造技术发展 ’! 引言 水平的重要标准- 随着技术的不断进步，集成电路越来越追求小 自从’5#a 年美国德克萨斯公司试制了世界上 尺寸、高生产率和高集成度- 而通常情况下，这些就 第一块集成电路起，近#% 年来世界集成电路产业经