磷化铟基高电子迁移率晶体管欧姆接触工艺.PDF

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２７ １１ 犞狅犾．２７ 犖狅．１１ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００６ １１ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犖狅狏．２００６ 磷化铟基高电子迁移率晶体管欧姆接触工艺  刘 亮 尹军舰 李 潇 张海英 李海鸥 和致经 刘训春 　 　 　 　 　 　 　 　 （中国科学院微电子研究所，北京 １００