磁控溅射沉积抗氧化、长寿命二硫化钼基复合薄膜-摩擦学学报.PDF

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磁控溅射沉积抗氧化、长寿命二硫化钼基复合薄膜-摩擦学学报

第 36 卷 第 6 期 摩 擦 学 学 报 Vol 36 No 6 2016 年 11 月 Tribology Nov, 2016 DOI: 10.16078/j.tribology.2016.06.007 磁控溅射沉积抗氧化、长寿命二硫化钼基 复合薄膜 1, 3 1 1* 1, 2a,b

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