用于静压气体轴承性能检测的真空系统设计.pdf

科技通报科技通报 第33卷第1期 Vol.33 No.1 2017年1月 BULLETINOFSCIENCEANDTECHNOLOGY Jan. 2017 用于静压气体轴承性能检测的真空系统设计 李运堂，沈传康，赵静一，吴进田，梁宏民 （中国计量学院机电工程学院，杭州310018） 摘 要：设计了用于真空环境下静压气体轴承性能检测的真空系统，确定了真空系统抽气机组类型、抽 速，计算出系统抽气时间；采用有限元法分析和校核了真空室结构强度和稳定性。实验表明：真空系统 满足静压气体轴承性能检测所需的真空度，为真空环境下静压气体轴承的性能研究提供实验支撑。 关键词：真空系统；静压气体轴承；真空泵；有限元法 中图分类号：TH122 文献标识码：A 文章编号：1001-7119（2017）01-0093-04 DOI:10.13774/ki.kjtb.2017.01.020 DesignoftheVacuumSystemforAerostaticBearingPerformanceTesting LiYuntang，ShenChuankang，ZhaoJingyi，WuJintian，LiangHongmin （CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，ChinaJiliangUniversity，Hangzhou310018，China） Abstract：Avacuumsystemforaerostaticbearingperformancetestingisdesigned,thepump’stypes, pumpingspeedandpumpingtimearesetdown.And,FEM(finiteelementmethod)isusedtoanalyzeand checkthevacuumchamber’sstructuralstrengthandstability.Experimentsuggeststhatthissystemcan meetthevacuityfortheperformancetestingplatformofaerostaticbearing,providingexperimentsupport forthedevelopmentoftheaerostaticbearingperformanceresearch. Keywords：vacuumsystem；aerostaticbearing；vacuumpump；FEM 静压气体轴承因具有磨损低、无污染、摩擦 位平台的随动真空环境，真空室内只包含硅片正 热量散发快等优点，在高速、高精密领域应用已 在刻蚀部分，极大减小真空室体积，减小了真空 [4] 十分广泛，但某些情况下轴承需要在真空环境中 泵抽速要求。夏欢 设计了气体轴承负载自平衡 运行，如半导体刻蚀、航天器润滑和分子泵转子 装置，实现了对静压气体轴承气膜厚度和气压分布 [5] 定位等。真空环境下静压气体轴承的承载能力、 的检测。蔺应晓 设计了极坐标定位轴承动态性能 刚度与常压下区别显著，并需防止轴承润滑气体