3第三讲薄膜材料物理第二章薄膜的力学性质.pptxVIP

第二章 薄膜的力学性质 第三讲;§1.2 薄膜的附着性质（重要） 理论上—需对结合界的了解。 使用上—决定了薄膜元器件的稳定性和可靠性。 现无统一的测量薄膜附着性能的准确测量技术. 薄膜的附着性能直接与附着的类型、附着力的性质、工艺、测量方法有关。;; ①简单附着：薄膜和基片间形成一个很清楚的分界面， 其附着能 Wfs=Ef+Es-Efs Ef—薄膜的表面能 Es—基片的表面能 Efs—薄膜与基片之间的界面能 两个相似或相容的表面接触 Efs↓ Wfs↑ 两个完全不相似或不相容的表面接触 Efs↑ Wfs↓ 表面污染： 1.333×10-3Pa下→1秒后→表面会污染 一层单分子层。 简单物理附着—薄膜与基片间的结合力—范德华力;②扩散附着—由两个固体间相互扩散或溶解而导致 在薄膜和基片间形成一个渐变界面。 实现扩散方法：基片加热法、离子注入法、