化学亚胺化程度对正性光敏聚酰亚胺影响-应用化学.PDF

第３４卷 第３期 应 用 化 学 Ｖｏｌ．３４Ｉｓｓ．３ ２０１７年３月 　　　　　　　ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＡＰＰＬＩＥＤＣＨＥＭＩＳＴＲＹ　　　　　　　 Ｍａｒ．２０１７ 化学亚胺化程度对正性光敏聚酰亚胺影响 ａ ｂ ａ ａ ａ ａ 朱丹阳　金　锐　吴作林 　韩宝春 　杨正华　张春华 ａ （中国科学院长春应用化学研究所，高分子复合材料工程实验室　长春 １３００２２； ｂ全球能源互联网研究院　北京 １０２２１１） 摘　要　选用２，２′双三氟甲基４，４′联苯二胺（ＴＦＤＢ）与二苯醚四甲酸二酐（ＯＤＰＡ）作为聚合物的基本骨架 进行缩聚反应生成聚酰胺酸，再经过化学亚胺化得到可溶性聚酰亚胺（ＰＩ）。通过调节２甲基吡啶在亚胺化试 剂中的含量以达到控制酰亚胺化程度的目的，探讨不同亚胺化程度的ＰＩ胶的显影性能。结果表明，当ｎ（２甲 基吡啶）∶ｎ（乙酸酐）＝１∶５时，所合成的光敏聚酰亚胺的显影性能最优。 关键词　正性光敏聚酰亚胺；化学亚胺化；溶解性；光刻 中图分类号：Ｏ６３３．２　　　　　文献标识码：Ａ　　　　　文章编号：１００００５１８（２０１７）０３０２７６０６ ＤＯＩ：１０．１１９４４／ｊ．ｉｓｓｎ．１００００５１８．２０１７．０３．１６０１９５ 正性光敏聚酰亚胺主要是由可在碱性水溶液中溶解的带有羟基或者羧基的聚酰亚胺与光敏剂邻重 ［１］ 氮萘醌磺酸酯类物质（ＤＮＱ）组成 。分子结构中含有羟基或者羧基的芳香二胺种类非常少，限制了正 性光敏聚酰亚胺的结构设计。聚酰胺酸结构中含有羧基，在碱性水溶液中的溶解性能非常好。若将其 作为成膜剂，需要满足其在显影时具有非常良好的阻溶作用的条件，否则就会出现胶膜被大部分溶解， 无法得到完整图形。目前，ＤＮＱ结构上进一步改进的空间已经很小，配胶时，单纯增加ＤＮＱ的含量会极 大地影响材料的力学性能。 ［２３］ 为了降低成膜剂（聚酰胺酸）在碱性水溶液的溶解性，Ｈｓｕ等 报道了把聚酰胺酸的部分羧基转 化为酯基，起到一定的降低溶解性作用，但在最终生成聚酰亚胺（ＰＩ）过程中需脱掉酯化基团，否则残留 在胶膜中势必会影响胶膜的性能。采用酯化的方式对溶解性降低的作用是有限的，依然存在着暗膜损 失率高的问题，且合成过程比较繁琐。 ［４］ Ｈａｙａｓｅ等 将ＤＮＱ直接与聚酰胺酸溶液混合，配成混合型正性 光敏聚酰亚胺，为了降低羧基的比例，采用曝光后在１４０～１６０℃下后烘的方式，促使聚合物分子链上的 羧基在高温下部分发生环化脱水反应生成亚胺环。采用该方式需精准控制温度，这是因为，当温度超过 １４０℃后亚胺化反应对温度极其敏感，温度稍高或稍低会造成亚胺化比例过高或不足，亚胺化比例达不 到适宜的范围，无法取得预期的降溶效果；另外ＤＮＱ在高温下会发生分解，ＤＮＱ分解后阻溶作用随即 消失。显然，采用后烘的方式在实验室阶段可以实现，但对于生产阶段却相当困难，很容易造成产品批 ［５］ 次稳定性的差异。由此可见，降低ＤＮＱ分子链中羧基的比例是降低其溶解性的关键 。 本文采用将聚酰胺酸部分化学亚胺化的方式，通过控制催化剂与亚胺化试剂的摩尔比来控制聚合 物分子链上亚胺化的程度，从而降低树脂的溶解性。选用２，２′双三氟甲基４，４′联苯二胺（ＴＦＤＢ）与二 苯醚四甲酸二酐（ＯＤＰＡ）作为聚合物的主链，采用化学亚胺化合成出部分亚胺化的可溶性树脂，与ＤＮＱ 类光敏阻溶剂配制成光敏聚酰亚胺。着重讨论化学亚胺化时催化剂的用量对亚胺化程度的影响，及不 同的亚胺化程度下光敏聚酰亚胺的显影性能。以期在合成聚酰亚胺过程中实现低温条件下烘干溶剂的 目的，克服高温烘烤出现的热亚胺化比例难于控制、ＤＮＱ发生分解等一系列问题，进而有效地