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微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展
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,
( , 200237)
: 大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求, 微滤膜分离由 对细
菌和微细粒子具有良好的截留效应, 与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合, 可使得纯水、双氧水和
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HF 等电子清洗剂, 金属离子等杂质含量降至几十个1×10 以下, 甚至达到1×10 水平。
: 微滤; 膜分离; 电子工业; 高纯化学试剂
( - ) ( - ,
Micro filtration Ultra
filtration) IC ,
0. 1 Lm10 50% , IC
Lm, ( 0. 001 Lm0. 1 Lm) , 1
( 10 Lm) , ,
, , 1
,
, , NH4OH H2O2 H2O/ /
/ H O /H O
, 2 2 2
HCl/ H O / H O
2 2 2
1 H2SO4 H2O/
( IC) HF/ H O
2
H SO / H O
2 4 2 2
NH4OH H2O2 H2O/ /
IC
, HF/ H O
2
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