薄膜工程与应用期中报告.PDF

薄膜工程與應用期中報告 Evaporation(Electron Gun Thermal Evaporation) 班級碩言光電一甲: 學生:MA3L0202 陳奇宏 授課老師:吳文端 老師 PVD by Evaporation 種類 目前常見的蒸鍍可分為以下幾種: 1. Resistive Thermal Evaporation(熱電阻蒸鍍) 2. Electron Gun Thermal Evaporation(電子槍熱蒸鍍) 3. Radiation Thermal Evaporation(輻射熱蒸鍍) 4. Laser Ablation Evaporation(雷射轟擊蒸鍍) 5. RF Coil Thermal Evaporation(RF 射頻熱蒸鍍) Electron Gun Thermal Evaporation原理 早期製備薄膜多半是利用真空熱阻式蒸鍍法，但由於待鍍材料與作為承載器的加 熱源直接接觸，因此可用的蒸鍍材料種類與所得到的薄膜純度都有很大的改善空 間，而伴隨著電子