6电感传感器.ppt

* * * * * 将差动变压器和弹性敏感元件（膜片、膜盒和弹簧管等）相结合，可以组成各种形式的压力传感器。 这种变送器可分档测量(–5×105～6×105)N/m2压力，输出信号电压为(0～50)mV，精度为1.5级。 凡是引起次级线圈回路变化的物理量R2 、L2 、M均可以引起传感器线圈等效R1 、L1的变化。 M L2 R2 R1 L1 讨论： 显然,被测体的电阻率ρ、导磁率μ、线圈与被测体间的距离x，厚度d、激励线圈的角频率ω,都通过涡流效应和磁效应与线圈阻抗 Z 发生关系。 结论： 涡流线圈的等效阻抗与被测金属中各种参数有函数关系。金属材料的μ、ρ、x、d、x的变化都可以使初级线圈中的 R1、L1发生变化。 若控制某些参数不变，只改变其中一个参数，可使初级阻抗 Z1成为这个参数的单值函数。 利用金属中的磁导率、电阻率测材料,探伤；利用线圈与金属导体的距离测位移、测厚。 电涡流形成范围 J=f(x,r) J0—金属导体表面电涡流密度， Jr半径r处的金属导体表面电涡流密度 电涡流密度J与半径r的关系曲线 电涡流的径向分布 2ros 线圈外径确定后，涡流范围也就确定了。 r = ro s 线圈外径处，金属涡流密度最大； r = 0 线圈中心处，涡流密度为零 ( j = 0 ) ； r 0.4ros 处（以内）基本没有涡流； r = 1.8ros 线圈外径处，涡流密度衰减到最大值的5%。 涡流范围与电涡流线圈的外径有一固定比例关系， 涡流密度最大值在线圈外径附近一个狭窄区域内 金属 扁平线圈 涡流区 r/ros 1 h ros j 轴向分布 由于趋肤效应涡流只在表面薄层存在，沿磁场H方向（轴向）也是分布不均匀的。距离金属表面Z处,涡流按指数规律衰减 j0 — Z = 0 处金属表面涡流密度(最大） jz — 金属表面距离Z 处的涡流 h — 趋肤深度 h z 金属 扁平线圈 j 由图可见，电涡流密度主要分布在表面附近。  由前面分析所得的式 可知，被测体电阻率愈大， 相对导磁率愈小，以及传感器线圈的激磁电流频率愈低，则电涡流贯穿深度h愈大。故透射式电涡流传感器一般都采用低频激励。 理论分析和实验都已证明，当x改变时，电涡流密度也发生变化，即电涡流强度随距离x的变化而变化。根据线圈—导体系统的电磁作用， 可以得到金属导体表面的电涡流强度为 式中： I1——线圈激励电流；  I2——金属导体中等效电流；  x——线圈到金属导体表面距离；  ras——线圈外径。 图5-26 电涡流强度与距离归一化曲线 I1为线圈激励电流，I2 为金属导体中的等效电流（涡流） x=0 处，I2 = I1； x/ros= 1，I2 = 0.3I1, I2 只有在 x/ros 1 才能有较好的线性和灵敏度(测微位移) 当 x ros时电涡流很弱了，所以测大位移时线圈直径要大。 要增加测量范围需加大线圈直径，传感器体积增大,这是电涡流传感器应用的局限性。 x/ros I2/I1 1.0 1 2 3 4 四 测量电路 1调幅式 2调频式 L为电涡流线圈 3. 正反馈转换电路 石英振荡器提供稳频、稳幅振荡电流; 传感器作为放大器正反馈回路,改变放大器放大倍数; 使输出电压发生变化. 特点:测量范围比电桥法大2~3倍. 五 电涡流传感器的应用 电涡流传感器目前主要应用于测位移、振动、 转速、测厚度、测材料、测温度、电涡流探伤。 特点：做非接触式测量。 应用 （1）测厚 ：低频透射式涡流厚度传感器 高频反射式涡流厚度传感器 （2）测转速 （3）测振动 （4）电涡流探伤 电涡流传感器 振动测量 测量悬臂梁的振幅及频率 汽轮机叶片测试 涡流振动测量 偏心和振动检测 通过测量间隙来测量径向跳动 涡流轴心轨迹测量 测量弯曲、波动、变形 对桥梁、丝杠等机械结构的振动测量，须使用多个传感器 测量金属薄膜、板材厚度电涡流测厚仪 导向辊可以用金属制作吗？ 测量冷轧板厚度 电涡流金属板、带材厚度测量 高频反射式涡流厚度传感器 涡流非导电材料厚度测量 通过测量间隙来测定热膨胀引起的上下平移 测量封口机工作间隙 间隙越大，电涡流越小 测量注塑机开合模的间隙 涡流转速测量 图所示为电涡流式转速传感器工作原理图。在软磁材料制成的输入轴上加工一键槽，在距输入表面d0处设置电涡流传感器， 输入轴与被测旋转轴相连。 电涡流式转速传感器工作原理图