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1 制作人：张海安 13/04/07 外层干菲林工程培训教材 2 一、干膜知识 二、干膜工序的作用 外层干菲林工程培训内容 三、工序流程 四、磨板段 五、无尘房的控制 六、贴膜段 七、曝光段 十、显影段 八、菲林制作 十一、问题原因分析段 外层干菲林工程培训教材 九、LDI机介绍 3 ※ 1968年由杜邦公司研制并用于线路板行业（非水溶性干膜，溶剂型；显影用三氯乙烧，退膜用二氯甲 烷）。（缺点：需消耗大量有机溶剂，污染大，成本高） ※ 1970年研制出一种半水溶性干膜，显影，退膜用水溶液（添加2-15%有机溶剂，BCS），成本，污染有很大改善。 ※ 1978年改进为全水溶性干膜，显影用Na2CO3/K 2CO3 ,退膜用NaOH.,其成本更低,污染更小,品质更好. 干膜知识 外层干菲林工程培训教材 4 干膜结构 A:Part: 聚酯盖膜： 冲影时撕去.1mil Polyester Cover Sheet B:Part: 光阻膜层： Photo pdlymer Film Resist C: Part: 聚已烯隔膜：贴膜时撕去Polyettylenc Separator Sheet厚 度1mil 外层干菲林工程培训教材 5 干膜各层作用 聚