基于干涉仪测量的变形镜面形展平标定研究.pdfVIP

光子学报 第 41 卷第 5 期 Vo l. 41 No.5 2012 年 5 月 ACT A PHOTONICA SINICA May 2012 一 doi:l0.3788/gzx0511 基于干涉仪测量的变形镜面形展平标定研究 林旭东，刘欣悦，王建立，卫沛锋，王富国 (中间科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033) 摘 要:为了全面地丁解变形镜的性能.以使自适应光学系统更好地工作，进行了基于干涉仪测量 的变形镜面形展乎标定研究.首先.给变形镜的压电陶瓷驱动器施加-半的控制电压;再用 Zygo 干涉仪:J1J 得变形镜的面形.计算对应各个驱动器位置的镜面高度，并算得各个位置镜面高度相对乎 均镜面高度的偏差p 最后.控制驱动器运动使偏差量为零.测试及实验表明，受压电陶瓷迟滞的影 响，上述过程需要迭代 4 到 6 次镜画面形才会收敛到希望的准确皮;对镜面周边无驱动器约束的 21 单元变形镜.展平之后其 80% 口径的面形接近λ120( .:1 =632.8 nm); 对镜面周边有驱动器约束 的 137 单元变形镜.展乎后的面形优于 il/50. 在望远镜不同的观测条件下，该技术可以快速地对变 形镜进行展平标定，以适应不同的工作环珑. 关键词z 自适应光学，变形镜5 展平标定g 千涉仪 中图分类号:P1241 TB133 文献标识码:A 文章编号: 1004-4213(2012 )05-0511-5 1 变形镜展平标定算法 。冒|言 自适应光学技术已经广泛地应用于地基望远 基于干涉仪测量的面形展平标定方法，主要包 括以下步骤2 镜，能够极大地提高了光学系统的高分辨率成像能 1)根据事先测得的变形镜面形改变量相对于压 力.为了使自适应光学系统能够更好地工作.需要对 电陶~驱动器所加电底的变化情况，给所有的驱动 组成系统的各关键部件有全面的了解，特别是实际 器施加一定的控制电底，把镜面先都推到一半的高 校正大气波前扰动的变形镜II ~5J 度.这是肉为ffi 电陶瓷驱动器位移随所加控制电压 本文给出了一种基于干涉仪测量的对变形镜面 呈近似线性变化，只有把镜面推到一定的高度才能 形进行展平标定的技术，并在自制的两个变形镜上 实现对面形的推t.l展平控制. 进行了展平实验.该技术元需知道镜面对单个压电 2) 用干涉仪测得这时的镜面面形，在面形阁中 陶瓷驱动器的响应(也就是响应雨数).利用一台相 对应每个驱动榕的位置分别取一个合适的窗口(窗 移千涉仪对变形镜的面形进行测量，再用自研的软 口映射到实际变形镜上面应与职动器的大小相当) • 件对干涉仪测量的数据进行分析，给出驱动器的控