电阻型半导体气体传感器的概况.pdf

第32 卷第4 期 《陶瓷学报》 Vol. 32, No.4 2011 年12 月 JOURNAL OF CERAMICS Dec. 2011 文章编号：1000- 2278（2011）04- 0602- 08 电阻型半导体气体传感器的概况 王红勤 1 杨修春 1 蒋丹宇 2 （1.同济大学材料科学与工程学院，上海200092；2.中国科学院上海硅酸盐研究所 摘 要 本文主要综述了两种类型的半导体电阻型气体传感器，表面控制型气体传感器和体控制型气体传感器，主要讲述了这两类氧 传感器的原理，结构特性，制备，应用。综合了国内外研究概况，展望了以后的研究动向。 关键词氧传感器；电阻型半导体气体传感器；表面控制型；体控制型 中图分类号：TQ174.75 文献标识码：A 1962 年半导体金属氧化物陶瓷气体传感器问世以 0 引 言 来，半导体气体传感器由于具有灵敏度高、响应时间 快等优点，其产品发展非常迅速，目前已成为世界上 产量最大、应用最广的传感器之一。半导体气体传感 传感技术是当今世界发展最为迅速的高新技术 器，是利用半导体气体传感器同被测气体接触，产生 之一，从70 年代末以来，由于电子计算机技术的高速 半导体特性（如电阻等电学性质）变化原理，来检测气 发展，以及对智能机器人的需要，世界各国普遍重视 体成分或测量气体浓度的传感器的统称。半导体式气 [1] 了传感器的研究开发工作 。日本是最早研究传感器 体传感器大体上可以分为电阻型和非电阻型两种。电 的国家，也是研究传感器技术比较成熟的一个国家， 阻型大多数用氧化锡、氧化锌等金属氧化物半导体材 相比较而言，我国这项技术起步较晚，技术稍显落后。 料制作气体传感器，非电阻型有金属/ 半导体结型二 随着科技水平的发展，气体检测在地震预报、矿井安 极管和MOS- FET 等。本文主要概述关于电阻型气体 全、石油勘探、医疗卫生、污染源检测、化工过程控制、 传感器的结构原理，制备方法，性能特点及其优缺点 冶金等传统工业乃至现在所有的新技术革命带头学 和以后的研究方向。 科如生物科学、微电子学、新型材料等领域均有着越 半导体气体传感器按结构分类，有烧结型、厚膜 [2] 来越广泛的应用 。随着人们生活水平的提高及社会 型、薄膜型；按功能分类，有单功能型、多功能型；按检 发展的需要，对气体传感器的要求也越来越高，需要 测方式分类，有表面控制型、体控制型气体传感器。表 检测的气体种类也越来越多，由原来的还原性气体 面控制型气体传感器指半导体同被检测气体的相互