聚合物三维微图案加工的转移微模塑新方法.pdfVIP

［研究简报］ 聚合物三维微图案加工的转移微模塑新方法 王 哲，邢汝博，韩艳春，李滨耀 （中国科学院长春应用化学研究所，高分子物理与化学国家重点实验室， ） 130022 关键词 转移微模塑；微图案；弹性软模板 中图分类号 文献标识码 文章编号 （ ） 0631.2 A 0251 0790 2003 05 0946 03 ［］ 1 光刻蚀技术 是微电子加工技术中最成功的一种，但由于受到光学衍射等的限制，100 nm 是光刻 ［，］ 蚀的极限，为此人们探索了许多先进的刻蚀技术2 3 ，如超紫外线刻蚀（ ）、软 射线刻蚀、电子束