电镀永磁体方法用于制作振动膜式微驱动器.pdfVIP

维普资讯 电镀永磁体方法用于制作振动膜式微驱动器 苏宇锋 ，高建设，刘武发 (郑州大学 机电一体研究所 ，河南 郑州 450001) 摘 要：阐述了利用电镀制作磁体微结构的方法，采用这一工艺方法制作 了一种基于硅橡胶薄膜 (PDMS，polydimethylsiloxane)和 CoNiMnP永磁体 阵列的双 向微型 电磁驱动器 ，由振动膜层和线 圈层构 成。微驱动器中磁体阵列 中每一个小磁体块的尺寸为 50 m×50 m×20 m，其矫顽力、剩磁和最大磁 能积分别为 26230e(208．73kA／m)、0．2T(2000G)和 10．15kJ／m。。 关键词 ：微驱动器；电磁驱动 ；硅橡胶 (PDMS)；电镀 中图分类号 ：TP215；TP271．4 文献标志码 ：B 微驱动器作为微机电系统 (MEMS)的驱动部 具有永磁特性 的复合柔性膜 ，并可用于微磁驱动装 件，受到广泛的研究。近年来 ，采用硬磁和软磁材料 置。不过，用这些方法获得 的永磁体尺寸多是毫米 构成的驱动器在微机电系统和微光机电系统中受到 级范 围，要想达到真正 的微米级器件难度较大 。 了越来越多的关注，这主要 由于电磁驱动方式能够 Nakano_3用脉冲激光沉积 (PLD)法制得 了钕铁硼 在较大的范围内提供足够 的驱动力 ，并且能够进行 薄膜 ，但脉冲激光沉积法需要在 923K至 1023K 远程驱动控制，响应速度快 。尤其是硬磁材料在被 的温度下进行 ，这与微加工工艺不兼容 。Linkopou— 充磁后可以用于制作双 向驱动器，采用一个永磁体 los4【等人首先介绍 了采用 电镀方法制作 CoNiMnP 和电磁线圈构成的电磁铁即可构成双向微型电磁驱 永磁体 的方法 ，张博军 对用于微驱动器 的 CoN— 动器 ，这可简化微驱动器 的结构，充分利用微驱动器 iMnP永磁阵列进行探讨。本文作者之前 的一篇文 中的有限空 间。通过改变 电磁线圈驱动 电流 的方 章中通过大量的试验结果对 比对几种合金 电镀液所 向，便可在 2个磁体之间产生吸引力和排斥力 ，作为 获得的CoNiMnP永磁薄膜进行了筛选优化 [6]。 双向微驱动器 的驱动力 。同时，将永磁体制作于微 微驱动器所采用的形变材料有硅 、氮化硅、聚酰 驱动器中，可以减小微驱动器的能耗与发热量 。 亚胺 。硅和氮化硅的杨 氏模量太大，在有限的驱动 尽管双 向磁驱动器有诸多优点，传统 的磁体制 力作用下产生的偏移小(小于 10 m)，不利于在一 作工艺与微加工工艺却不相容 ，这使得 电磁驱动微 些偏移要求大的场合使用 ，比如用作微泵的驱动器， 器件的实现 比较 困难 。许多研究者在永磁体的微型 要求振动膜的偏移大 、冲程体积大。PDMS的柔性 化成型制备方面进行 了大量探索 ，积累了相当多 的 大、其杨氏模量只有 750kPa，能够得到较大的偏移 研究资料。WagnerL1将一个 1．5mm ×1．5mm× (大于 50”m)。同时，硅橡胶 的物理 、化学性能均 比 1．0mlTl的钕铁硼永磁铁黏在硅薄片上制成了微驱 较稳定 ，生物兼容性很好 ，广范应用于微流控 系 动器。Wang[2用钕铁硼磁粉与硅橡胶相混合制成 统 中Ej。 盘根时 ，盘根接头切 口应切成 45。，各层接头应错开 3 结语 180。，且填料压盖 2不得倾斜 ，并留有足够 的再压佘 量，使整个填料组件 4被压缩 30 。填料压盖 2上 要达到 良好的阀杆密封效果，必须根椐不同工 的压套压人填料函的