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曝光机能量均匀性
曝光機能量均勻性調試及調整
機台型號:UVE--M552
設備供應商:志聖公司
需求人力:2人
正常耗用工時:1H
機台外型圖
1
曝光機能量均勻性調試及調整方法
1、準備工具
②.十字螺丝刀一把
①.平行光能量测试仪一块
③.内六角扳手一套
2
2、合上框架
將臺面框
架放下
3
3、測試點點陣圖
。 。 。 如圖示測試臺面上9
個點位,其中周邊點位
距臺面框邊緣約5CM
。 。 。 間距
壓克力框
。 。 。
4
4、粘貼探頭
用紙膠帶將能
量檢測探頭粘
貼在曝光機框
架右下角第1
個點位
5
5、開啟吸真空
點按吸真
空按鍵,待
真空度達
到設定值
6
6、使框架前進
點按框架前
進按鍵,框架
進入曝光室
內自動曝光
7
7、自動曝光
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