7现代加工剖析.ppt

准LIGA技术：用紫外光源代替同步辐射源，虽然不具备和LIGA技术相当的深度或宽深比。 它涉及的是常规的设备和加工技术，这些技术更容易实现。 准LIGA技术 UV-LIGA 紫外光源取代X光源 掩膜板使用普通掩膜板 SU-8，AZ4562光刻胶 深等离子刻蚀 大深宽比刻蚀，Si做为刻蚀加工对象，具有更大的刻蚀速率，结构简单。 硅微结构——塑料微结构——金属微结构——批量生产 金属模具 批量生产 Laser-LIGA 受激准分子激光剥离，光刻胶直接用脉冲UV辐射刻蚀，每个激光脉冲可以腐蚀光刻胶0.1-0.2um，无须重调焦距，可以剥离几百微米深。 a) 微齿轮模具型腔 b) 镍微齿轮(每层厚 200 μ m) 如图所示，为利用准LIGA技术制作的微齿轮模具型腔，如图a）所示，通过注射得到镍微齿轮，如图b)所示。 §7.5 准分子激光微细加工技术 加工机理： 热作用： 化学键的直接打断：利用光子能量打断物质分子间结合键； 直写工艺： 利用激光等高能束以不同的手段直接在被加工件上制作微结构。 省略了传统工艺的掩膜-抗蚀剂-工件材料的图形转印过程。 §7.6 生物加工 定义：利用微生物对工程材料的加工作用，实现预订量的去除或沉积。 分类 生物去除加工：利用生物化学反应去除 生物沉积加工：利用化学沉积方法制备具有一定强度和外形的空心金属化菌体，并以此作构型单体构造微结构； 生物成形加工：生物生长成形加工。 §7.7 分子装配技术 分子装配技术 80年代初发明的扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope，STM）以及后来在STM基础上派生出的原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM），使观察分子、原子的结构从宏观进入了微观世界。 STM和AFM具有0.01nm的分辨率，是目前世界上精度最高的表面形貌观测仪。 利用其探针的尖端可以俘获和操纵分子和原子，并可以按照需要拼成一定的结构，进行分子和原子的装配制作微机械。 这是一种纳米级微加工技术，是一种从物质的微观角度来构造、制作微机械的工艺方法。 §7.7 分子装配技术 美国的IBM公司用STM操纵35个氙原子，在镍板上拼出了“IBM”三个字母； 中国科学院化学研究所用原子摆成我国的地图； 日本用原子拼成了“Peace”一词。 1993年Eigler等在铜Cu（111）表面上成功地移动了101个吸附的铁原子，写成中文的“原子”两个字，如图所示，这是首次用原子写成的汉字，也是最小的汉字。 有理由相信，STM技术将会在微细加工方面有更大的突破。 用原子写成的汉字 §7.8 典型微机电系统 集成机构：微传感器+控制电路+微致动器 硅微加速度计： §7.9 微细加工技术的发展与趋势 微型机械加工技术的发展刚刚经历了十几年，在加工技术不断发展的同时发展了一批微小器件和系统，显示了巨大生命力。 作为大批量生产的微型机械产品，将以其价格低廉和优良性能赢得市场，在生物工程、化学、微分析、光学、国防、航天、工业控制、医疗、通信及信息处理、农业和家庭服务等领域有着巨大的应用前景。 当前，作为大批量生产的微型机械产品，如微型压力传感器、微细加速度计和喷墨打印头已经占领了巨大市场。 目前市场上以流体调节与控制的微机电系统为主，其次为压力传感器和惯性传感器。 §7.9 微细加工技术的发展与趋势 （1）加工方法的多样化 一是用传统的机械加工和电加工，研究其小型化和微型化的加工技术； 另一是在半导体光刻加工和化学加工等高集成、多功能化微细加工的基础上提高其去除材料的能力，使其能制作出实用的微型零件的机器。 因此，如何从单一加工技术向组合加工技术发展，研究和制备几十微米至毫米级零件的高效加工工艺和设备，是今后一段时期的重点攻关领域。 §7.9 微细加工技术的发展与趋势 （2）加工材料从单纯的硅向着各种不同类型的材料发展 如玻璃、陶瓷、树脂、金属及一些有机物，大大扩展微机械的应用范围，满足更多的需求。 （3）提高微细加工的经济性 微细加工实用化的一个重要条件就是要求经济上可行，以实现加工规模由单件向批量生产发展。 LIGA工艺的出现是微机械进行批量生产的范例，微细成形、微细制模和微细模铸等方法也能适用于批量生产微型零件。 此外，加工方式从手工操作向自动化发展也是提高微细加工经济性的途径。 §7.9 微细加工技术的发展与趋势 （4）加快微细加工的机理研究 伴随着机械构件的微小化，将出现一系列的尺寸效应，如构件的惯性力、电磁力的作用相应地减少，而粘性力、弹性力、表面张力、静电力等的作用将相对较大； 随着尺寸的减小，表面积与体积之比相对增大，传导、化学反应等加速，表面间的摩擦阻力显著增大。 因而，加快微细加工的机理研