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面向极紫外应用的激光烧蚀理论概述 　　摘 要：文章通过对极紫外激光烧蚀理论进行阐述，浅谈了激光辅助放电等离子体烧蚀理论相对于激光产生等离子体（Laser Pro duce Plasma，LPP）和放电产生的离子体（Discharge Produce Plasma，DPP）的优势，同时对该理论和实验装置进行简要的概述，力求通过文章，使人们能够对该理论有更好的宏观认识 关键词：激光辅助放电等离子体；激光烧蚀；宏观认识 1 理论概述 近年来，研究者采用纳秒激光诱导产生等离子体时发现，纳秒激光作用靶材产生等离子体的同时会产生直径大约在几微米量级粒子，被称为激发碎屑，研究发现碎屑的产生将对放电电极有污染和损伤。因此，为了弥补这一缺陷，采用飞秒激光作为诱导光源产生等离子体，去减少碎屑[1] 想要得到短波极紫外辐射，需要电子密度为1018/cm3和电子温度为120eV。图1（a）为放电原理示意图。图1（b）为电子密度和电子温度达到最大时所对应等离子体示意图，如灰色线图内所示。此时的Z-pinch等离子体体积最小，我们将其近似看成圆柱，因此可以计算得到Z-pinch等离子体的体积Vz-pinch=πr2L。r为等离子体半径，L为等离子体长度。通过下面的理论计算，可以得到所需要的烧蚀体积。在体积为Vz-pinch的等离子体内所需要包含电子个数为Ne=VZ-pinchx1018cm3，获得高电子温度时，所对应最多的正离子金属价态为N，根据电荷守恒定律，可以获得原子数Natom=Ne/N，对于材料来说，设其单位体积内所包含的原子数为Ni=ρNA/M，其中ρ为材料密度，NA为阿伏伽德罗常数，M为相对原子质量。通过理论计算原子数Natom=1/3πr2dxNi，式中r为烧蚀孔半径，d为其烧蚀深度。通过上面理论计算，如果知道烧蚀斑半径和每发脉冲烧蚀深度，就可以得到所要的电子密度值 2 实验装置 在这个装置中，电极的粗糙表面和高温严重影响了极紫外的转换效率。采用转动的圆盘来作为电极。使部分圆盘浸没在液体锡浴缸里，这样，当圆盘转过浴缸时，电极表面会换了一个新位置并保证每次靶材都是新的和带走电极上面多余的热量[2]。采用高功率激光作用于靶材时，其表面的温度将迅速升高达到其沸点。由于蒸发出的物质密度远远小于固体的密度，根据质量守恒定律，粒子将以高速离开靶材表面 激光烧蚀金属使电极导通形成放电通道，形成的真空电弧和放电电流流过等离子体，因此变化的轴向电流产生了方位磁场，等离子体中的带电粒子受到洛伦兹力J×B的作用，洛伦兹力的方向指向放电通道。如图2所示。基于导体的趋肤效应，只有等离子体最外层携带着脉冲电流。因此等离子体最外层的带电粒子在洛伦兹力的作用下向着轴心运动，由于洛伦兹力的作用，磁压强作用在等离子体上并指向轴心，使等离子体变成针状形成Z-pinch等离子体 如图3所示，在装置中①位置加入高压直流电，通过激光烧蚀②位置处靶材产生金属气体，从而使阳极③和阴极④导通产生Z-pinch等离子体。其中图中⑤为绝缘体。为了产生短脉冲高压放电，采用图中⑦磁脉冲开关进行放电控制。极紫外转化率即极紫外辐射能量与激光入射能量之比，就LDP而言：激光参数（波长、脉冲持续时间、光强及光斑大小等）；靶材能级结构；产生等离子体光学薄膜厚度与环境参量（充入惰性气体）等都对其转化率有重要的影响。其中光学薄膜厚度由电子密度与电子温度共同决定 3 结束语 相对于LPP和DPP而言，它可以使等离子体中的电子沿着电流的方向运动，增加了对等离子体的控制，能够形成稳定的等离子体，从而进一步提高了极紫外的转化效率。此外，通过该方式能有效将电能转换为等离子体能量，从而获得电子温度较高的等离子体，使产生的极紫外向波长较短方向发展 参考文献 [1]Qiushi Zhu. Plasma Dynamics in a 13.5 nm Laser-assisted discharge plasma extreme ultraviolet source[D].Tokyo Institute of Technology，2012：1-3. [2]Pease R S. Equilibrium Characteristics of a Pinched Gas Discharge Cooled by Bremsstrahlung Radiation[J].Proceedings of the Physical Society，1957， vol： b70（70）：11-23. 作者简介：姚威，学位： 硕士研究生，单位：长春理工大学 理学院， 主要研究方向：极紫外应用的激光烧蚀理论研究。