传感器与检测技术（徐科军）5.3 压电式传感器.pptVIP

5.3 压电式传感器 5.3.1 压电式传感器的工作原理 5.3.2 等效电路及信号变换电路 5.3.3 压电式加速度传感器 5.3.4 压电式测力传感器 5.3.4 压电式测力传感器 压电元件是直接把力转换为电荷的传感器。 变形方式：利用纵向压电效应的TE方式最简便。 材料选择：决定于所测力的量值大小，对测量误差提 出的要求、工作环境温度等各种因素。 晶片数目：通常是使用机械串联而电气并联的两片。 晶片电气并联两片，可以使传感器的电荷 输出灵敏度增大一倍。 单向压电式测力传感器 用于机床动态切削力的测量。 压电式压力传感器 测量均布压力的传感器 End the 5.3 5.3 压电式传感器 5.3.1 压电式传感器的工作原理 5.3.2 等效电路及信号变换电路 5.3.3 压电式加速度传感器 5.3.4 压电式测力传感器 5.3.1 压电式传感器的工作原理 电势型传感器 以压电效应为基础 压电效应可逆 “双向传感器” 正压电效应 加力 变形 产生电荷 逆压电效应 施加电场 电介质产生变形 应力 常见的压电材料有石英、钛酸钡、锆钛酸铅等。 1. 石英晶体的压电效应 X轴：电轴或1轴； Y轴：机械轴或2轴； Z轴：光轴或3轴。 “纵向压电效应”：沿电轴（X轴）方向的力作用下产生电荷 “横向压电效应”：沿机械轴（Y轴）方向的力作用下产生电荷 在光轴（Z轴）方向时则不产生压电效应。 晶体切片 当沿电轴方向加作用力Fx时，则在与电轴垂直的平面上产生电荷 d11——压电系数（C/N） 作用力是沿着机械轴方向 电荷仍在与X轴垂直的平面 切片上电荷的符号与受力方向的关系 图（a）是在X轴方向受压力， 图（b）是在X轴方向受拉力， 图（c）是在Y轴方向受压力， 图（d）是在Y轴方向受拉力。 石英晶体的压电效应 （a）正负电荷是互相平衡的，所以外部没有带电现象。 （b）在X轴方向压缩，表面A上呈现负电荷、B表面呈现正电荷。 （c）沿Y轴方向压缩，在A和B表面上分别呈现正电荷和负电荷 石英晶体 一种天然晶体，压电系数d11＝2.31×10－12C/N； 莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 优点： 转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度变化而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。 2. 压电陶瓷的压电效应 人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。 压电陶瓷的极化 陶瓷片极化 压电陶瓷片内束缚电荷与电极上吸附的自由电荷示意图 自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符合相反而数值相等， 它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用， 因此陶瓷片对外不表现极性。 压电陶瓷的正压电效应 压电陶瓷片上加上一个与极化反向平行的外力，陶瓷片将产生压缩变形，原来吸附在极板上的自由电荷，一部分被释放而出现放电现象。 当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附部分自由电荷而出现充电现象。 放电电荷的多少与外力的大小成比例关系 常见压电陶瓷 ： （1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。 （2）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT） 压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件的 变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以 获得不同性能的PZT材料。 （3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN） 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工 作，可作为高温下的力传感器。 5.3 压电式传感器 5.3.1 压电式传感器的工作原理 5.3.2 等效电路及信号变换电路 5.3.3 压电式加速度传感器 5.3.4 压电式测力传感器 5.3.2 等效电路及信号变换电路 1. 压电元件的等效电路 2. 压电式传感器的信号调节电路 1. 压电元件的等效电路 压电式传感器的等效电路 (a)等效为一个电荷源Q与一个电容Ca并联的电路 (b) 等效成一个电源U = Q/Ca 和一个电容Ca的串联电路 两个压电片的联接方式 （a） “并联”，Q’=2Q，U’=U，C’=2C 并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大， 适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的地方， （b） “串联” Q’=Q，U’=2U，C’=C/2 而