划痕法综合评定膜基结合力.pdf

真 空 科 学 与 技 术 学 报 第 29卷 第2期 a_删 SEJOURNALOFVACUUM SC皿NCEANDTECHNOLOGY 2OO9年 3、4月 划痕法综合评定膜基结合力 瞿全炎 ， 邱万奇 曾德长H 刘正义 (1．华南理工大学材料科学与工程学院、金属材料科学与工程系 广州 510640；2．广东省特种设备检测院 广州 510655) M easurementofTiN Film SubstrateInterfacialAdhesionbyScratching QuQuanyan1,2,QiuWnaqi，ZengDechang卜，LiuZhengyi (1． 觚 ofMadMatenk~ Sde／o／~andEng／neer／ng，SchoolofMutera／／sSc／enceand ，SouthChn／a ofTechnoo／gy，Ql嘞 u510640，Chn／a；2．C．uangdongInstituteofSpecialEquipmentInspection，Guo2~ o．lt，510655，Ch／na) Abstract TheTiN filmsweredepositedbyvacuum multi—arcionplatingonWC—Cosubstrate．Thescratchtracks made thamicro—scratchtester(MST)werecharacterized’vithanopticalmicroscopeandscanningelectronmicrocsope (SEM)．Theadhesionattheinterfaceoft}leTiNfilmsandhtesubstratewerethenevaluatedbycalculatinghteaCOUStice— missionnadfrictionalforcedataobtainde withhteMST．nadhteopticalimagesnadSEM micmgraphsofhtescratches． resultsshow htat neihteracoustic emission spectranorfriction force curve can exclusively determinehteadhesion strength；htecritical loadnadhteinterfacial adhesionCna onlybepreciselyevaluatde bycombininghteacousticemission spectra．htefrictionofrcecurvenadhteScratchtruckmorphologies．I11emeasuredresultwiht hteMsTagreeswellwiht t}1atobtainedwitl1WS-92scratchtester． Keywords Scratchtest；Ahd esionstrength；Evaluation；WC—Co／TiN 摘要 用划痕实验探索了综合表征膜基结合力的方法。在瑞士 CSM仪器的微划痕测试仪(Micro-ScratchTester，MST划痕 仪)对真空多弧离子镀设备制备的WC—Co／TiN膜基结合力进行划痕实验 ，系统地介绍了如何利用 MST划痕仪所测的声发射数 据、摩擦力数据及光学、电子扫描划痕形貌来综合评定膜基结合力，并用WS-92划痕仪对评定结果进行验证。评定结果表明， 单一的声发射图谱或摩擦力曲线不能准确判定膜基结合力的表征值临界载荷 ，声发射图谱、摩擦力曲线与划痕形貌综合评定 临界载荷结果才可信。WS-92划痕仪测量的结果验证了MST划痕仪评定结果的准确性。 关键词 划痕试验 结合力 综合评定 WC—Co／TiN 中图分类号：TB34 文献标识码：A 文章编号：1672-7126(2009)02。184-04 膜基结合力是硬质薄膜非常重要的力学性 膜与压头摩擦 因子等)[ 。J进行了研究，对于解释 能…1，膜基结合力表征是其研究的重