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TixV1-xO2薄膜的光学及相变特性
物理化学学~(WuliHuaxueXuebao1
June Aeta .一Chim.Sin.2012,28(6),1533—1538 1533
[Article] doi:10.3866/PKU.WHXB201203191 www.whxb.pku.edu.cn
Ti ,O2薄膜的光学及相变特性
胡文亮 徐 刚 , 马健伟 一 熊 斌 1,2,3 史继富1,2
(中国科学院广州能源研究所,广州510640; 中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,广州510640
中国科学院研究生院,北京 100049; 东北石油大学土木建筑工程学院,黑龙江大庆 163318)
摘要: 采用射频磁控溅射方法,在 c-AIO。(0001)基底上制备了不同钒钛比例的Tj O (0 1)薄膜,利用X
射线衍射 (XRD)、拉曼(Raman)光谱、紫外一可见一近红外 (UV_Vis—NIR)光谱对薄膜结构及光学性能进行测试分
析,计算薄膜的太阳能智能调节率和光学带隙.实验结果及分析表明:随着Ti含量的增加,薄膜的红外调节特
性和热滞特性逐渐减弱直至消失:薄膜样品的光学带隙随着Tj含量的增加而变宽,光响应范围发生蓝移:其光
学带隙随着V含量的增加而变窄,光响应范围发生红移.
关键词: 二氧化钒薄膜: 二氧化钛薄膜;磁控溅射:光学性能:相变特性
中图分类号: 0644;0484;TN305
OpticalandPhaseTransitionPropertiesofTixV102ThinF_lmS
HUWen—Liang’-。 XUGang’’ MAJian—Wei’, XIONG Bin’ SHIJi—Fu’,
(。GuangzhouInstituteofEnergyConversion,ChineseAcademyofSciences,Guangzhou51064~尸R.China;2KeyLaboratoryof
RenewableEnergyandGasHydrate,ChineseAcademyofSciences,Guangzhou510640,PR.China; GraduateUniversityof
ChineseAcademyofSciences,Bejiing100049,PR.China; CivilEngineeringInstitute,NortheastPetroleumUniversity,Daqing
163318,HeilongjiangProvince, R.China)
Abstract: TiV1-xO2(0x≤1)thinf¨mswithdifferentmolarratiosofVT/jwerepreparedonc-planesapphire
(0001)substratesbyradiofrequencymagnetronsputtering.Themicrostructureandopticalpropertiesof
thethinfiJmsweredeterminedbyX.raydiffraction (XRD),Ramanspectroscop、 and UV-visible—near
infrared(UV-Vis-NIR)spectroscopy~Thewidthoftheopticalbandgapwascalculatedandtheintegrated
solartransmittanceofthefiImswascharacler1zed.Asthe contentoftitanium was increased.jnfrared
regulationandthermaIhysteresisweregraduallyreduceduntiltheydisappeared.Theresultsshow thatth
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