基于静态呼吸图技术的图案化方法.pdfVIP

物理化学学报(WuliHuaxueXuebao) April ActaPhys．-Chim．Sin．，2010，26(4)：1135—1142 1135 [Review】 WWW．whxb．pku．edu．cn 基于静态呼吸图技术的图案化方法 李 磊 钟雅文 陈财康 李 剑 (厦门大学材料学院，福建厦门 361005) 摘要： 对呼吸图技术制备二维有序多孔结构的研究进展进行了综合评述，并重点介绍了本课题组发展的静态 呼吸图技术．利用静态呼吸图法，可制备高度有序的聚合物、聚合物无／机物微孔膜．这些有序的结构可以直接应 用于光掩膜．进一步，多孔聚合物膜可以被紫外光交联和改性．表面改性的多孔聚合物膜可以用于细胞支架．而 交联的聚合物，无机物前驱体微孑L膜可以用来制备无机纳米材料阵列．结果表明，静态呼吸图技术是一种简单、 高效的对聚合物、聚合物／无机物薄膜进行图案化的通用方法，并展示了图案化薄膜广阔的功能化前景． 关键词：静态呼吸图；嵌段聚合物；图案化 中图分类号： 0647 A NovelPathtoPatterningBasedontheStaticBreathFigureTechnique LILei ZHONG Ya—W en CHEN Cai—Kang LIJian (CollegeofMaterials，XiamenUniversity，Xiamen 361005,FujianProvince，P．R．China) Abstract： Thebmaht figuretechniqueisoneofthemostpromisingstrategiesforhtefabricationoflarge—sized patternscontainingallorderedtwo—dimensionalarrayofholes．Inthisreview，particulra emphasisisplacedonthe staticbreaht figuretechnique，whichisarobustmehtodologysuiatbleofrvariouspolymersincludinglinearpolystyrene (PS)，amphiphilicdiblockcopolymersandpolymer／inorganicprecursorhybridfilms．Th eresultanthighlyordered microporouspolymerfilmscallbeusedasamaskofrlihtography．Moreover,htemicroporouspolymerfilmscanbe surfacemodifiedandcross—linkedbyUV irradiation．Th esurfacemodifiedfilmscanpotentiallybeappliedasflcell scaffoldandhtecross—linkedp0lymer／hybridfilmsCna beusedastemplatesofrhtegrowthofnanomaterialarrays． KeyW ords： Staticbreathfigure； Blockcopolymer； Patterning 图案化是当今微，纳米技术的一个重要研究领 是 自组装方法中最为简单有效的一种大面积制备二 域，广泛应用于集成电路、信息存储设备、显示器生 维有序多孔结构的手段．呼吸图法由水气凝结在基 产以及微型电气一机械系统、小型传感器、生物芯片、 板上，形成雾状水滴而得名．这种现象在 191