岸三地无线电科技研讨会.pdf

2008 海峽兩岸三地無線電科技研討會 ，台北亞東技術學院 數位高斯濾波器於光學薄膜表面粗糙度量測之應用 1 2 3* 2 曾宏達 ，楊惠閔 ，田春林 ，林英元 逢甲大學電機系大專生 1 ，逢甲大學電機所研究生 2 ，逢甲大學電機系 3 摘要 測儀量測表面粗糙度的方法，為量測各個角度的散射 本 研 究 提 出 以 傅 式 轉 換 法 (Fourier Transform 光強度來估算待測面的不同空間頻率波面成分比例， Method)及數位濾波技術量測光學薄膜表面粗糙度大 進而計算其粗糙度大小；積分球法 (Total Integrated 小的新方法。於硬體方面，本研究利用 Fizeau 干涉儀 Sphere, TIS)[3][4] ：積分球內壁塗滿高反射材料，原理 結合數位 CCD 擷取干涉條紋圖，再藉由 FTM 技術重 同樣為量測散射光強度以估算粗糙度大小；傅利葉轉 建薄膜的表面輪廓。在粗糙度訊號的分離方面，本研 換法 (Fourier Transform Method, FTM)[5] ：FTM 為 究使用數位高斯濾波器對重建後的表面輪廓進行濾波 Takeda[6][7]所提出一種相位還原技術，使用快速傅利 的動作，並計算粗糙度均方根值。於實驗中，本研究 葉轉換法(Fast Fourier Transform, FFT) ，求解待測物表 實際測得 TiO2 單層膜之表面粗糙度均方根值，其量測 面相位值。 結果並與原子力顯微鏡的量測值作比較。 本研究利用Fizeau干涉儀共光路且不易受環境影 關鍵詞：傅式轉換法、光學薄膜、表面粗糙度、Fizeau 響的特性，結合FTM技術能單一干涉條紋圖還原、即 干涉儀、高斯濾波器 時量測、處理快速的優點，藉由數位CCD擷取干涉條 紋圖，重建薄膜表面輪廓，再以二維數位高斯濾波器 壹、前言 [8]演算法，對重建後的表面輪廓進行濾波的動作，以 光學薄膜的粗糙度為決定光學薄膜品質的重要參 克服因背景光訊號與相位訊號互相重疊，導致分離後 數之一，其粗糙度大小將決定鍍上薄膜的光學元件表 還原相位資訊時精細度不足的問題，最後得到量測所 面散射特性。 需的粗糙度訊號。 粗糙度的量測技術可分為兩大類：接觸式與非接觸 於實驗中，本研究實際測得 TiO2 單層膜之表面粗 式，接觸式如探針式輪廓儀，但由於此類的技術必須 糙度均方根值，並將其量測結果與原子力顯微鏡量測 接觸薄膜的表面，一不小心就會對薄膜表面造成傷 值作比較。 害，留下刮傷，故在薄膜表面的量測上較不推薦使用 此類技術。 貳、粗糙度量測使用與參數表示 為了避免量測時在光學薄膜表面上造成傷害，我們