接触与非接触两用表面轮廓综合测量仪.pdf

第 2O卷 第 5期 湖 北 工 业 大 学 学 报 2005年 1O月 V0I．2ONO．5 JournalofHubeiUniversityofTechnology Oct．2005 [文章编号]1003—4684《2005)10—0043—03 接触与非接触两用表面轮廓综合测量仪 汪 洁 ，谢铁邦 (华 中科技大学机械科学与工程学院，湖北 武汉 430074) [摘 要]介绍 了一种新型两用表面轮廓综合测量仪 的设计原理、仪器结构及测试结果．该系统可采用接触 式与非接触式两种测量方式，与单一测量模式的表面形貌测量仪器相 比，它的性能价格 比更高，应用范围更 广。该测量系统 已投入实用 ，接触法测量范围达士 3mm，最小分辨率为0．005 m；非接触法测量范围达士500 m，最小分辨率为 0．01 m． [关键词]表面轮廓仪 ；聚焦探测法 ；激光干涉法 [中图分类号]TB92 [文献标识码]：A 表面形貌的测量方法有很多，如触针法、光学 需要 ，同时仪器成本降低，应用范围增大． 法 、扫描 电子显微镜 (SEM)及扫描 隧道 显微镜 (STM) 其 中，触针法测量精度较高，量程大， 1 测量系统结构及原理 测量结果稳定可靠、重复性好 ，一直是各国国家标 准和国际标准制定的依据．但是触针式仪器存在 以 两用表面轮廓综合测量仪主要 由自动聚焦式非 下缺点 ： 接触位移测头 、激光干涉触针式位移测头 、共运动 1)尖锐 的触针在一定测量压力下可能损伤被 基面X—y测量工作 台组成．系统结构见 图 l，外 测工件表面，同时影响测量结果的真实性． 观实物见图 2． 2)在测量过程中触针可能变形和磨损． 信号采集、处理电路 3)为使测头不至于很快磨损 ，测头 的硬度一 磊 般都很 高，因此不适于软金属表面、生化材料表 触针式干涉测头 面、橡胶表面、含信息表面以及超精加工表面的测 共基面二维工作平台H 驱动控制电路 量 ． 计算机 4)测量速度较慢，在三维表面测量时显得尤 图 1 系统结构示意图 为突 出． 与触针式仪器相比，采用非接触测量方式的光 针扫描轮廓仪具有测量速度快 、无损伤等优点，但 这种轮廓仪也存在一定缺点： 1)对被测表面清洁度要求较高 ，灰尘和油污 对其测量结果影响较大． ■ 2)在测量含有较大倾斜角的轮廓表面时，会 造成信号畸变和失真． 图 2 外观实物 图 3)工件材料的反射率及表面峰谷的高低程度 对测量结果有较大影响． 由此可见，如果在 同一台仪器上同时配备接触 2 非接触式测量头的设计 测量头和非接触测量头 ，使它能同时进行接触测量 测量系统的非接触式测量头采用 了一种基于傅 和非接触测量 ，则可以满足对工程表面测量的不同 [收稿 日期]2005—05—10 [作者简介]汪 洁(1972一)，女，湖北武汉人 ，华 中科技大学工程师，工学硕士，研究方向：精密测量技术． 44 湖 北