相移干涉法测量ICF微球内表面粗糙度.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２０ ２ Ｖｏｌ．２０Ｎｏ．２ 　 　 　 年 月 ， ２００８ ２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｆｅｂ．２００８ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００８０２０２２４０５ 　 相移干涉法测量犐犆犉微球内表面粗糙度 马小军， 高党忠， 叶成刚， 贾 鹏， 唐科慧， 初巧妹 　 　 　 　 　 　 （中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，四川 绵阳 ６２１９００） 摘 要： 通过分析光线通过微球壳层后各界面的相位分布，讨论了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的 　　 　 　 基本原理，研究了微球上部壳层对内表面粗糙度测量的影响，得到了聚苯乙烯，聚 甲基苯乙烯微球的内表面 α 形貌特征图像，测量数据与原子力显微镜测量数据在同一量级。以微球壳层对超光滑碳化硅及单晶硅片表面 形貌的调制作用为研究对象，讨论了微球的外表面粗糙度以及微球壁厚对内表面粗糙度测量结果的影响，确定 了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的不确定度，实验结果表明：对于表面粗糙度小于 ３０ｎｍ、厚度小于 ９ ｍ μ 的微球，测量不确定度小于０．４ｎｍ。 关键词： 相移干涉； ＩＣＦ微球； 内表面粗糙度； 测量不确定度 　　 　 　 　 　 中图分类号： ＴＨ７４４．３ 文献标识码： Ａ 　　 　 　　　　 　 微球内表面粗糙度是惯性约束聚变（ ）靶丸内爆期间瑞利 泰勒（ ）不稳定性增长的重要因素，而 ＩＣＦ  ＲＴ ＲＴ 　　 ［ ］ １２ 不稳定性的增长将引起燃料混合、降低燃料燃烧的效率或阻止点火 ，因此，需要对微球内表面粗糙度进行精 确的测量。目前，对微球外表面局部形貌及外表面轮廓的表征主要采用原子力显微镜（ＡＦＭ）和 ＡＦＭ轮廓 ［ ］ ３４ 仪 ，而对微球内表面粗糙度的测量，由于微球尺寸较小，其直径一般在 ３００ ５００ ｍ之间，同时要求非破坏 ～ μ 性测量，使得对其精确表征极其困难，国内未见相关报道。 年， （ ）公司的 ２０００ ＧｅｎｅｒａｌＡｔｏｍｉｃＧＡ Ｒ．Ｂ．Ｓｔｅ