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载能离子在固体中的射程和射程分布
第五章 载能离子在固体中的射程和射程分布
前面几章我们讨论了带电粒子在固体中的碰撞过程、核阻止本领及电子阻止本领,它们是研究带电粒子与固体相互作用过程的基础。本章我们将讨论载能离子在固体中的射程和射程分布。
5.1 射程的概念
由前面几章的讨论可以知道,对于具有一定初始能量的入射离子,当它在固体中穿行时,将不断地同固体中的原子进行一系列的弹性和非弹性碰撞,并逐渐地损失其能量,最终将停止在固体内部。由于离子在同靶原子碰撞时不断地改变其飞行方向,所以它在固体中的轨迹不是一条直线,而是一条折线,如图5.1所示。离子在固体中实际穿行的路程称为总射程,用表示。然而,在实验中不是一个可以直接测量的物理量。通常,人们引入投影射程这个可测的物理量来描述离子在固体中的穿行深度。的定义为离子的总射程在其入射速度方向的投影,见下图。除了总射程和投影射程,在理论研究中,有时人们还引入横向射程这个概念,其定义为=+。
表面
离子
x
图5.1 离子在固体中的射程示意图。
很显然,投影射程的大小与离子在很显然,投影射程的大小与离子在固体中的能量损失状况有关,即与核阻止本领和电子阻止本领有关。我们知道:离子同固体中的原子碰撞时过程随机的,因此离子在每次碰撞中它飞行速度的偏转方向及能量损失均是随机的。这样,即使对同一入射能量的不同离子它们在固体中的穿行深度是不同的。一般地,离子在固体中的终止位置(即穿行深度)在其入射方向上是有一定空间分布的。投影射程即为分布函数的最大值。分布函数的形状取决于它的矩。它的一阶矩
(5.1-1)
即为投影射程,而它的二阶矩定义为
(5.1-2)
有时称为射程偏离。
在1963年,J. Lindhard,M. Scharff 和 H. Schiott采用了一种统计的方法来描述离子在固体中的传输过程,并给出了一个积分-微分形式的离子射程方程,一般简称LSS射程理论。不过本章我们不是按照LSS的原始方法来建立射程方程,而是从Boltzmann输运方程出发,较为严格地推导出离子的射程方程。另外,Biersack和Ziegler (1982)采用投影射程代数法建立了一个微分形式的射程方程,称其为BZ射程理论。除了上述两种理论外,人们还可以采用计算机模拟方法,如蒙特卡罗方法,来研究离子在固体中的射程分布。首先我们介绍一种计算射程的简单方法。
5.2射程的简单估算
我们知道一初始能量为的离子在固体中运动时沿着它路径方向上的能量损失可以用电子阻止本领和核阻止本领来描述,即
(5.2-1)
其中 和分别是核阻止截面和电子阻止截面,是固体原子的密度。这样,离子在固体的总射程可以表示为
(5.2-2)
这样,我们一旦知道了核阻止截面和电子阻止截面,即可以由上式计算出离子在固体中的总射程。核阻止截面可以由(3.4-6)或(3.-47)式给出,而电子阻止截面可以由LS公式[ 见(4.4-9)式]
如果入射离子的能量不是太高,例如约化能量 时,电子阻止本领的值较小,与核阻止本领相比可以略去不计。这时总射程可以表示成为
(5.2-3)
作为一种简单的估算,我们采用幂级指数势给出的核阻止本领(见第三章)
(5.2-4)
来计算射程,其中为常数
(5.2-5)
将(5.2-4) 式代入(5.2-3) 式,可以得到总射程为
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