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连续式抗污镀膜机业务介绍常用问答 一：公司介绍 二：设备介绍； 1：抗污、抗指纹膜层应用： a：手机、平板电脑触摸屏玻璃盖板 b：光学镜头、汽车后视镜，玻璃外墙、太阳能电池保护玻璃及其他玻璃和不锈钢产品等 2：抗污、抗指纹膜层原理 贴合力与表面能关系： 表面能大两物体间贴合力大，水滴滴在表面，水滴角小， 表面能小两物体间贴合力小，水滴滴在表面，水滴角大， 通过降低物质表面能，从而减小贴合力，水滴滴在物体表面不易贴合，形成圆珠，容易滑落。 3：镀膜原理： 降低物质表面能，经过研究调查氟龙表面能为16mj/㎡,是自然界中表面能最低的物质，是用于表面膜层的首选材料。 1：因玻璃材质性能稳定，不易与其他材质结合发生反应，要在其表面镀上铁氟龙材料，必须先将玻璃表面改质，其原理是：通过大气等离子处理在其表面行成OH（羟基），与铁氟龙溶剂（PFPE）中的Si相连接，从而形成稳定的化学键，形成新的稳定化学键示意图连续式抗污镀膜机与传统真空镀膜机比较： 　 蒸空蒸鍍法(電子束) 連續式常壓蒸鍍法 市场售价 日本机：100万USD(配cryo pump) 韩国机：200万RMB ?200万左右 膜层工艺 　真空镀膜法 　等离子前处理常压蒸镀法 单位生产节拍 没炉约530 min (每小时可完成两炉) 连续式无限制(线速：0.5m.min) 产能(4 inch) 235 pcs/每炉 ; 470 pcs/hr 1900~2000 pcs/hr(视排盘方式) 工作时耗电量 38 千瓦每小时 3千瓦每小时 机台本体占地面积 　约7.5m2 约2.5m2 真空pump 钱级为机械pump，高真空高階机种配cryo pump，一般机种配油扩散pump(价格差异) 无 镀膜前处理方式 离子源（真空) 常压电浆(DBD) 加热方式 腔体內部提供基材电阻丝加热 无需对基材加热（后制成外接隧道炉烤箱） 膜厚测量 膜厚测量仪(石英震盪片为耗材) 无需测量(均厚20nm) 工件架需求 工件架 Tray盘 掉片问题 因治具设计关系，通常每炉于公转是有掉片的情况发生 水平放置，无掉片问题 不均匀问题 公转外圈通常均匀性不佳 线性镀膜无此问题 腔壁保护 必须配置金属防著板，需要定期拆卸更换保养 无此问题