采用连续_脉冲等离子体合成低表面能薄膜.pdfVIP

包装工程 　PACKA GIN G EN GIN EER IN G Vol. 26 No2 2005 采用连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜 陈 强 , 张跃飞 ,张广秋 ,葛袁静 ,庞 华 ,陈光良 (北京印刷学院 , 　北京 　102600) [摘要 ] 　采用连续与脉冲射频等离子体合成低表面能薄膜 SiCxOy。通过对薄膜性能的表征 ,发 现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构 、表面成份 、表面能数值大小 ,认为采用脉冲射频等离子 体更易合成低表面能聚合物 。 关键词 :射频等离子体 ; 连续脉冲模式 ; 表面能薄膜 中图分类号 : TS8054; TQ32072 + 1文献标识码 : B 文章编号 : 100 1 - 3563 (2005) 02 - 00 12 - 02 L ow S u r f a c e E n e r gy P o lym e r D ep o s it e d in C on t in u ou s a n d P u lse d P la sm a M o d e l CHEN Q iang, ZHAN G Yuef ei, ZHAN G Guang que, GE Yuan j ing, PAN G H ua, CHEN Guang liang (B eij ing In stitu te of Grap h ic Comm un ication, B eij ing 102600, Ch ina) A b s t r a c t : A k ind of low su rface energy polym er wa s depo sited in continuou s and p u lsed radio frequen cy ( 13. 56MHz) p la sm a model . It wa s found that the differen t p la sm a models not on ly influenced the poly m er surface topography as exam ined by scann ing electron m icrograph ( SEM ) , bu t also dom inated the film ( ) structure as noticed in X ray photoelectron sp ectro scopy XPS . The con tact angle m ea su rem ent show s that the sup erlow su rface energy polym er can be depo sited ea sily if the pu lsed p la sm a emp loyed. K e y w o r d s: R adio frequency p lasm a; Con tinuou s and pu lse p lasm a models; Low su rface energy 　　低表面能薄膜是指表面能低于 27 ×10 - 3 J ·m - 2 的薄膜 。 其中:A 1 为薄膜未被粘掉的格数; A 2 为膜被粘掉的格数, 因为表面能低 ,不沾水 ,不沾油 ,在数字印刷板材制备 ,贵重文