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招 标 邀 请 书 一、招标采购项目编号： JDCG2014-610 二、招标采购项目：吉林大学 磁控溅射系统 三、招标采购内容 （一）设备名称：磁控溅射系统 （二）数量：1套 （三）详细技术指标、配置、要求： 可自动镀金属、非金属等材料薄膜，参数设定完成后，可抽真空、加热、旋转基板、选择靶材、溅射镀膜、消除真空等，可进行共溅射镀膜。按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输。 1. 系统组成 主要由A/B两个溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量和电控系统等部分组成，全部零部件采用进口。 2．系统结构 2.1 总体要求 设备