利用PN结的C_V特性来测其击穿电压.pdf

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利用PN结的C_V特性来测其击穿电压

( ) 第 16 卷第 4 期             中南民族学院学报 自然科学版              V o.l 16 N o. 4 ( ) 1997 年 12 月   JOU RN AL O F SOU TH - CEN TRAL COLL EGE FO R N A T ION AL IT IE S N at. Sci.    D ec. 1997 利用 结的 特性来测其击穿电压 PN C V 龚道本 (物理系) 摘 要 提出了一种通过测量 结的势垒电容的 特性来测量 结的击穿电压 PN C V PN V B 的方法, 与传统的方法相比它有更精细的击穿特性曲线; 同时也为 仪开发了一种新的应 C V 用. 关键词  结; 势垒电容; 特性; 空间电荷区; 击穿电压 PN C V 分类号 TN 386 半导体器件的种类繁多, 在大多数情况下器件的核心是 PN 结, 而 PN 结的击穿电压 V B ( 是一个重要参数. 关于 的测量, 传统的方法是用 法 这可以用电表, 也可用 1 图示仪 V B V I J T ) 去测量 . 本文提出了通过测量 结的 特性来测量 结的反向击穿电压 这一新的 PN C V PN V B 测量方法. 1 测量原理 当 PN 结二端的外加电压 V 变化时其 PN 结势垒宽度 d 发生变化, 空间电荷 Q 也会发 生变化, 好像电容器的充电放电一样, 这就是 PN 结的电容效应. 由文献[ 1]可知 PN 结的势垒 ( ) 宽度 d 和势垒电容 C 单位面积电容 分别为: 2 N + N 0 D A d = (V D - V ) · , ( 1)

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