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第6章 压电式传感器 主要内容 6.1 工作原理  6.2 压电式传感器测量电路 6.3 压电式传感器的应用 6.1.1 压电效应 压电效应：是对某些电介质沿一定方向施以外力使其变形时，其内部将产生极化现象而使其表面出现电荷集聚的现象。在外力去除后又重新恢复到不带电状态，是机械能转变为电能。 正压电效应，逆压电效应 特点： 结构简单、体积小、重量轻； 工作频带宽；灵敏度高；信噪比高； 工作可靠；测量范围广等。 用途： 主要用于与力相关的动态参数测试，如动态力、机械冲击、振动等，它可以把加速度、压力、位移、温度等许多非电量转换为电量。 6.1.2 压电材料 X轴向受力： Y轴向受力： Z轴向受力： 无 现象： 机理： 机理： 压电陶瓷（多晶体） 压电材料的特性参数 压电系数：压电效应强弱的参数 弹性系数：决定固有频率和动态特性 介电常数：决定压电器件的固有电容 机电耦合系数：表征能量转换效率 电阻： 居里点 压电材料的选取 选用合适的压电材料是设计、制作高性能传感器的关键。一般应考虑： 转换性能 机械性能 电性能 温度、湿度稳定性好 时间稳定性 6.2　压电式传感器的等效电路 压电式传感器的测量电路 压电式传感器：内阻抗很高，输出的信号微弱 要求:测量电路的前级输入端要有足够高的阻抗(防止电荷迅速泄漏而使测量误差减小) 压电式传感器的前置放大器作用： 传感器高阻抗输出变换为低阻抗输出； 传感器的微弱信号进行放大。 电荷放大器 电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的前置放大器。 它实际上是一个具有反馈电容的高增益运算放大器。(电荷放大器实质上是负反馈放大器，) 放大器的输入阻抗极高，输入端几乎没有分流，电荷Q只对反馈电容Ci充电，充电电压（反馈电容两端的电压）接近于放大器的输出电压。 电荷放大器的输出电压Uo与电缆电容Cc无关,而与Q成正比 放大器开环增益和输入电阻、反馈电阻相当大，输出电压： A足够大时: 电荷放大器的灵敏度为： 总结: 电荷放大器的输出电压仅于输入电荷量和反馈电容有关，若保持CF数值不变，输出电压正比于输入电荷量。 当(1＋A)CF＞＞10(Ca＋Cc＋Ci)时，认为传感器的灵敏度与电缆电容无关，更换电缆或使用较长的电缆时，不用重新校正传感器的灵敏度。 电压放大器 若压电传感器受力为： 压电元件上产生电压： 当　 ，放大器的输入电压： 6.2.3压电元件的连接与变形 压电元件的变形 6.3 压电式传感器的应用 测量汽缸中燃烧的爆发力 测量冲床压力 2. 压电式振动加速度传感器 3．玻璃破碎报警装置 采用高分子压电薄膜振动感应片，将其粘贴在玻璃上，当玻璃遭暴力打碎的瞬间，会发出几千赫兹甚至更高频率的振动。压电薄膜感受到这一振动，并将这一振动转换成电压信号传送给报警系统。 这种压电薄膜振动感应片透明且小，不易察觉，所以可用于贵重物品、展馆、博物馆等橱窗的防盗报警。 图a－并联接法（类似两个电容的并联） 外力作用下正负电极上的电荷量增加了1倍，电容量也增加了1倍，输出电压与单片时相同。 图b－串联接法，两压电片中间粘接处正负电荷中和，上、 下极板的电荷量与单片时相同，总电容量为单片的一半，输出电压增大了1倍。 单片压电元件产生的电荷量甚微，为了提高压电传感器的输出灵敏度， 在实际应用中常采用两片（或两片以上）同型号的压电元件粘结在一起。 　　从作用力看，元件是串接的，因而每片受到的作用力相同，产生的变形和电荷数量大小都与单片时相同。 　　图a）从电路上看，这是并联接法， 类似两个电容的并联。所以，外力作用下正负电极上的电荷量增加了1倍，电容量也增加了1倍，输出电压与单片时相同。 　　图b）从电路上看是串联的，两压电片中间粘接处正负电荷中和，上、 下极板的电荷量与单片时相同，总电容量为单片的一半，输出电压增大了1倍。 被测力通过传力上盖使压电陶瓷片受压力作用而产生电荷。压电陶瓷片通常采用两片（或两片以上）粘结在一起。这种传感器主要用于变化频率不太高的动态力的测量。 1. 压电式单向测力传感器 传感器的输出电荷即与被测物体的振动加速度成正比。结构中的弹簧是给压电晶片施加预紧力的，预紧力应适中。 高分子压电薄膜振动感应片 * * 石英晶体 天然形成的石英晶体外形 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 双面镀银及封装 石英晶体（单晶体） 压电机理： 　　压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 