原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
机械 设计与制造 第2期
70 Machinery Design Manufacture 2012年 2月
文章编号：1001—3997(2012)02—0070—03
基于三维精密位移工作台的显微图像拼接测量系统木
}withlargetravel，nanometerlevelandmeasurement,ⅡmathematicmodelforcalibratingCCDcameraswith{
litsownmeasuringsystemandcalculatingtheanglesbetweenCCDandlevelworktablesisestbalishedf。{
；solvetheproblemthattheCCDcalibr~ionandnaglemeasurementofgeneralmeasurementsystemdepend 《
}enlragesthescopeofcrossmeasurement．Thereforetheproblemoflateralresolutionnadthemeasurement{
lfiledbeingrestrictedtothenumericalapertureofobjectiveissolved． i
l●_。，-，．，～|，～N．～h-t～～1～^～hh～p●_～_1～、■—、．嘈q_—…，l一～．1～hH～h。■_．一_—“1，|hh，，1hh-t_—，．hh，●1dnhtt1—1_1hh—，机’
显微图像的获取、识别和评定是基础研究最常用最重要的 约了拼接对测量视场面积的扩大，特别是当重叠区域没有明显的
技术之一。传统显微镜的视场是有限的，分辨率越高，数值孔径越 特征时，甚至会出现无法匹配的情况。
大，视场越小。 为解决上述问题，设计了一种基于三维位移工作台的大面
将被测物不同部分进行多场摄像，图像拼接根据多幅图像 积无缝无特征显微图像拼接测量系统。
间的相互约束关系，把多幅单元图像统一到一个坐标系之下，从 2 0量系统的设计
★来稿 日期 ：2011—04—25 -k基金项 目：国家自然科学基金项 目，湖北省自然科学基金项 目(20o9cDAO32，2010CDB01801)
第2期 王生怀等：基于三维精密位移工作台的显微 图像拼接测量系统 71
反射镜Pl，从而可实现显微图像测量。重点在与显微图像测量。 为上下层叠式，Z方向上的驱动机构垂直放置且安装在整-tN量系
2．3三维精密位移工作台的设计 统底座的立柱上。各方向粗驱动采用交流伺服电机配合精密丝杠和
直线导轨进行驱动，精驱动采用压电陶瓷配合柔l生铰链进行驱动，
每个方向的两级驱动共用—个计量光栅，如图3所示。粗、精两级驱
动采用—个检测系统，可有效的避免测量误差。
3测量系统的工作原理
采用如图2所示的复合光路系统，旋转反射镜 |pI，光投射到
反射镜后不被反射回分光棱镜产生干涉，构建了光学显微图像测
量系统 。被测样品置于X／Y向水平位移工作台上 ，由z向垂直位
移工作台将光学显微系统进行自动聚焦。被测样品经过显微镜放
大后成清晰的像，由图像采集卡采集后输入到计算机中，由计
文档评论（0）