科大薄膜复习习题.doc

什么是薄膜 薄膜是指用特定的制备方法在基板表面上生长的一薄层固态物质 （判断）区分薄膜与厚膜，厚度不是关键（√） 薄膜的制备方法和分类 PVD：真空蒸发，溅射，离子镀；CVD： 常压、低压CVD，金属有机物CVD，等离子体CVD，光CVD，热丝CVD；液相法：电镀，离子镀，液相外延，喷雾水、热解，LB膜，自组装Sol-Gel，MOD，水热法；渗入法：化合法，扩散法，离子注入法 薄膜材料的分类及应用 光、电、热、机械、生物、磁、化学、声 真空，描述真空的独特单位，真空各种单位的换算Pa，托，atm，Bar 1帕=0.00001Bar=1/1.01325*10^-5atm=9.869*10^-6atm=7.501*10^-3Torr 真空是指低于一个大气压的气体状态。 A、粗真空：1*105~1*102Pa B、低真空：1*102~1*10-1Pa C、高真空：1*10-1~1*10-6Pa D、超高真空：1*10-6Pa 真空系统：真空室，真空泵，控制系统，真空计 平均自由程 每个分子在连续的两次碰撞之间移动的平均距离 碰撞几率 气体分子在移动X距离以后，彼此间发生碰撞的几率 （判）f与那么大成反比（×） 分子通量（入射频率）——克努森方程 单位时间单位面积的器壁上碰撞的气体分子数 反射几率——余弦散射律——散射的本质 扩散油泵的工作原理及优缺点 工作原理：加热扩散泵油，使其沿喷嘴向下喷射，由于速度快，在进气口形成压力差，使气体向下扩散，排出泵外。 优点（6）：结构简单；无可移动的部件，工作无噪音；防微尘；密封性好；抽速与压力成线性关系 缺点（4）：油蒸汽回流造成真空系统污染；加热冷却需要时间；要制冷剂；可能加热过度 机械泵、分子泵 分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、Cvd反应分类：热分解 化合 歧化 Cvd特点：成膜类型广泛；成膜速度快；成膜性能好；可控性好；辐照损伤小。（速性控辐广——苏醒空腹光） 要求温度高，基板自掺杂；有毒；局部沉积困难（温杂毒沉） CVD低压特点，等离子体特点，金属有机物特点 低压：降低基片温升导致的薄膜晶格缺陷及自掺杂污染； 降低外延生长临界温度； 减少埋层图形的畸变 改善了膜的性质（电阻率、厚度），使其均匀 等离子体:：（降低反应温度） 降低基片温升导致的薄膜晶格缺陷及自掺杂污染； 活化原子、离子团，降低反应温度； 成膜均匀； 成膜速率快； 成膜附着力大 金属有机物（气相外延） 温度低，膜纯、无晶格损伤 外延生长，可制极薄膜 适用范围广。 有毒、温度不能太低 LB膜 利用分子表面活性在水—气界面上凝结成膜，再逐次将该膜转移到固体基片上，形成单层或多层类晶薄膜的方法 优点：成膜有序定向排列； 成膜材料具有广泛性 LB膜由单分子组成 设备简单，操作容易 （序广单设——旭光单设） 缺点：成膜速率低； 具有有机膜缺点； 膜厚小，表征带来困难 （速有标） sol-gel 将金属醇盐、其他盐类等溶于醇醚等有机溶剂中，均匀溶解，通过水解、缩聚成为溶胶，再进一步通过聚合形成凝胶，最后通过热分解排除水分和其他副产物，形成薄膜 特点：纯度高； 所需温度低； 计量控制准确； 可制多种薄膜； （纯温准多简——纯稳准多见） 工艺简单，推广性好…… 原料贵；易收缩易开裂；残余气体多；有机溶剂有毒；工艺周期长 （缩气毒长——锁起赌场） 优缺点考虑：成膜速度 附着力 成膜纯度 设备 经济 操作 对基片的损伤 真空度 镀膜范围 杂质 可控性重复性 复杂表面沉积